產品特色

1、三段電阻絲加熱爐，加熱溫區300+300+300，上下6點獨立控溫，溫場均勻性好；

2、設備兩端配有磁流體密封法蘭，確保爐管能在真空條件下進行轉動；

3、設備配有螺旋上料機構，上料電機轉速可調，可自由調節上料速度；

4、智能一體化工控屏顯示控制，操作界面簡潔，方便使用。

設備組成

本臺定制回轉CVD設備，可實現一次加3L粉料進行生產；從結構上共分成主體設備、上料機構、收料機構三大模塊。

一、主體CVD設備

主體CVD設備主要包含加熱系統、氣路系統、真空系統、爐管回轉機構。

1、加熱系統：三溫區加熱爐膛，溫區長度300+300+300mm，總加熱功率12KW。控溫熱電偶為K型熱電偶，每段溫區爐膛上下各1個控溫點獨立控溫，提高爐膛溫場均勻性。

2、氣路系統：6路工作氣體，分別由5個D07-19B 500sccm N2和1個CS200A 500sccm N2質量流量計控制進入混氣罐，另外配置1路吹掃氣路，由1個D07-19B 5slm N2質量流量計并聯接入混氣罐之前，可以對整個氣路系統進行吹掃。

3、真空系統：采用BSV30真空泵，并配置PCG550真空計檢測腔體真空度。

4、爐管回轉機構：采用伺服電機，并配置1:30減速機，保證爐管回轉平穩。

二、上料機構

上料機構由螺桿送料器、升降機構、滑動滑軌組成，送料前通過搖動渦輪升降器手柄可以調節螺桿送料器的送料螺桿的中心高度，與設備法蘭中心高度一致后，鎖緊升降器上方導柱的鎖緊手柄；可左右移動送料螺桿至合適位置進行送料。

三、收料機構

用真空泵將收料桶抽成真空狀態，將收料桿深入設備內部物料處，打開收料桿上的球閥，利用真空負壓產生的吸力將物料吸入收料桶內。

技術參數