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安徽貝意克設備技術有限公司

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回轉CVD設備

回轉CVD設備
  • 品牌:貝意克
  • 產地:安徽
  • 關注度:6879
  • 型號: BTF-1200C-V-R-280
  • 報價:面議
  • 信息完整度:
核心參數
  • 非金屬電熱元件:其他
  • 金屬電熱元件:鐵鉻鋁絲
  • 燒結氣氛:真空
  • 溫控精度:±1℃
  • 最高溫度:1200℃
  • 額定溫度:1100℃
產品介紹

一、設備特點:

1、本設備提供一個五溫區的超長溫場,五個溫區可獨立控制

2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理,上下可電動開啟。

3、流量計和加熱采用模塊化設計,便于維護保養。

4、加熱元件采用康泰爾摻鉬合金電阻絲,**使用溫度可以達到1200度,溫場均勻,使用壽命長。

5、采用觸摸屏和工控電腦自動控制,參數設置和操作直觀方便,參數自動記錄保持。

6、設備集成化設計、以及集成化管理,美觀方便。

 

二、設備組成:加熱系統,爐管轉動系統,螺旋送料系統、供氣系統、真空系統、工控及操作系統。

1、加熱系統:

該加熱系統的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研實驗處理,電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發熱元件的壽命,測溫元件為K型熱電偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數,無須操作人單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統。

高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統,控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控員的干預,可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號,同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經驗的要求。

 

2、爐管轉動系統:

爐管轉動系統可以讓爐管360°勻速轉動,轉速在0-60r/min連續可調,且能在60r/min轉速下長時間運行。管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結更均勻。

 

3、螺旋送料器:

先將樣品儲存于樣品罐中,通過螺旋送料器將樣品送入石英管內。送料完成之后送料桿退回到原始位置。周而復始,達到自動送料。


4、供氣系統:

供氣系統是一種可控制三種氣體按不同流量進行混合配比,也可根據實驗需求加裝洗氣裝置,質量流量計安裝于密封的可移動機柜內,由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成,觸摸屏控制。


5、真空系統:

真空機組,內部安裝機械泵1臺,電阻真空計1套,并含有配套使用的波紋管,手動擋板閥,卡箍等連接部件。

 

 

三、加熱主體設備技術參數:

 

腔體尺寸

外徑Φ280 ,Φ300,Φ400,Φ500,Φ600尺寸可選 (中間異型區域尺寸)

爐膛保溫材料

氧化鋁纖維

表面溫度

≤60℃

加熱元件

進口KTL電阻絲

加熱區數量

5區,每個溫度獨立控制,使溫場均勻性更好

加熱區長度

300+300+300+300+300mm

恒溫區長度

真空條件兩端加氧化鋁管堵的情況下,五個溫區設定同一溫度使恒溫區可達1200mm

使用溫度

1200℃

建議長時間使用溫度

<1100℃

控溫精度

±1℃

升溫速率

0-20℃/min,建議升溫速率10℃/min

設備功率

28KW

設備工作電源

380V/50HZ

熱電偶型號

K型

控制器

可編程控溫儀表,PID調節,升、降保溫全自動

控溫方式

人機界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,數字工控儀表雙控,采用工業智能控溫儀表和軟件實現雙控,采用模糊型PID控制

無紙記錄

內置存儲記錄運行工藝數據,外接USB接口,可以電腦連接一鍵拷貝數據

結構描述

設備可對半電動開啟,加快冷卻速度、表面溫度低于60℃

轉動密封收集系統

爐管一端配有不銹鋼密封可轉動水冷法蘭、螺旋送料裝置

 

四、3路供氣系統參數

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2)

500sccm、1000sccm、2000sccm(量程型號根據要求定制)

耐壓

3MPa

接口

Φ6

顯示

液晶屏顯示

工作環境溫度

5~45高純氣體

內外雙拋不銹鋼管

Φ6

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6卡套接頭

 

真空機組參數:

空氣相對濕度

≤85%

工作環境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1千瓦

抽氣速率

60m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進氣口口徑

KF40

排氣口口徑

KF40

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連

電阻真空計參數:

配用規管:

ZJ-52T電阻規,

測量范圍:

10 5 ~10 -1 Pa,

測量路數:

1路

控制范圍:

 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

控制方式:

繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載

電源:

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

功耗:

20W


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工商信息

企業名稱

安徽貝意克設備技術有限公司

企業類型

信用代碼

91340100591423143H

法人代表

注冊地址

成立日期

注冊資本

有效期限

經營范圍

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安徽貝意克設備技術有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設備研發、生產、銷售與技術服務于一體的高科技企業。公司歷經十余年的艱苦創業已由當年的行業追隨者發展成為今天的行業領跑者。 公司重視技術攻關和產品研發,建有一流的產品研發中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業研發隊伍,累計獲得**200余項。并通過產學研合作,與北京大學南開大學等多所知名院校建立聯合實驗室及研究生聯合培養基地 公司專注于新材料裝備工藝開發及裝備制造,產品門類

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