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麥克講堂—物理吸附過程解析(20190912)

麥克講堂—物理吸附過程解析(20190912)
美國麥克儀器  2019-09-17  |  閱讀:3658

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物理吸附過程解析








高級應用工程師 謝雨

視頻地址:



以下為文字簡單版本:








物理吸附系統解析及作用

1、歧管

2、真空泵

3、氣源(物理吸附通常使用氮氣、二氧化碳等)

4、溫度傳感器及壓力傳感器

5、信號記錄系統

6、樣品管

7、樣品管閥門

8、冷浴系統


物理吸附測試流程:

1、系統抽真空

2、樣品冷卻至分析溫度


3、Manifold注入氣體

4、計算Manifold中相關數值


5、擴散至樣品管中

6、計算樣品吸附量,記錄平衡壓力(注意:計算樣品管氣體量需先自由空間測試)

7、氣源向Manifold注氣,使Manifold里壓力略大于Pe,重復測試流程,直至系統壓力接近氣體飽和蒸氣壓



8、得到等溫吸附性(綠色)及等溫脫附線



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