中國粉體網訊 近日，在沈陽經濟技術開發區開發二十六號路，占地面積9.6萬平方米的漢京半導體產業基地已展露形象。嶄新的石英廠房、碳化硅廠房、研發中心、員工宿舍等單體建筑整齊列陣，蔚為壯觀。
來源：中新網
據悉，漢京半導體基地項目總投資10億元，主要生產集成電路產業專用材料及設備，包括石英、陶瓷、爐管碳化硅零部件、半導體設備先進零部件的開發等。據該項目環評報告顯示，項目主要建設內容為新建石英工廠、陶瓷工廠、研發工廠、宿舍樓、動力中心、倉庫、門衛室、氫氣站、氧氣站以及氬氣站等。項目建成后產品產量為陶瓷工廠碳化硅立式管700件/年、碳化硅立式舟1320件/年、碳化硅保溫桶1800件/年、碳化硅雜件5000件/年；石英工廠石英管3600件/a、石英舟1200t/a、石英保溫桶1200件/a、石英雜件24000件/a；研發工廠碳化硅雜件600 件/a。
石英制品
作為半導體工業不可或缺的關鍵耗材，高純石英及其制品貫穿了半導體生產全過程，是確保產品質量與性能穩定性的核心要素。石英玻璃材料及制品廣泛應用于半導體芯片制程中，是半導體蝕刻、擴散、氧化等工序所需的承載器件與腔體耗材。在半導體集成電路與芯片制造中，石英坩堝、石英管、石英舟、石英支架等各種配件是難以替代的關鍵材料和制品，涉及半導體晶圓制造的大部分流程。石英制品在使用過程中直接與硅片或晶圓接觸，其性能好壞對下游產品的良品率高低將造成直接影響。
來源：漢京半導體官網
據漢京半導體企業負責人介紹，新廠將建成全球半導體石英精密度較高的生產線，其對應的是10納米以下工藝的先進制程。未來，芯片龍頭企業將會應用到這些產品。
碳化硅
碳化硅零部件，即以碳化硅及其復合材料為主要材料的設備零部件，被廣泛應用于外延生長、等離子體刻蝕、快速熱處理、薄膜沉積、氧化/擴散、離子注入等主要半導體制造環節的設備中。
來源：漢京半導體官網
漢京半導體稱，目前，全球能生產爐管碳化硅零部件的企業不多，產品交付周期在36個月左右，漢京半導體半導體爐管碳化硅零部件生產線投產后，產品交付周期預計從36個月縮短至12個月，極大緩解行業面臨的長交期困境。
遼寧漢京半導體材料有限公司起源于2006年，是一家集精加工生產、檢驗、銷售為一體的高新技術企業。主營多種工業陶瓷產品及半導體、光伏新能源行業石英制品。漢京半導體新廠的研發中心將專注于半導體設備先進零部件的開發，以期盡快取得技術突破，助力我國半導體產業延鏈補鏈強鏈。
參考來源：遼寧日報、沈陽市生態環境局、漢京半導體官網
（中國粉體網編輯整理/初末）
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