中國粉體網(wǎng)訊 精細(xì)陶瓷和金屬、塑料材料相比，具有更卓越的強(qiáng)度、抗腐蝕性和耐熱性等特性，是具有獨特魅力的一種先進(jìn)材料。日本礙子充分利用該特點，將其應(yīng)用到眾多產(chǎn)業(yè)之中。其中，陶瓷加熱器和靜電吸盤等，為半導(dǎo)體制造過程帶來了巨大的變革，也顯示出精細(xì)陶瓷具有的無限可能性。
半導(dǎo)體制造中必不可少的就是化學(xué)氣相沉積（CVD）和刻蝕的環(huán)節(jié)。在這些環(huán)節(jié)中使用的制造設(shè)備需要具備保護(hù)硅晶圓、加熱溫度均衡、且不易被二氧化碳和等離子腐蝕等要求。日本礙子在滿足這些要求的基礎(chǔ)上，以氮化鋁（AlN）陶瓷為主，發(fā)揮材料的特性，將半導(dǎo)體制造設(shè)備上需要使用的靜電吸盤、加熱器、各種零部件產(chǎn)品化。
日本礙子的陶瓷加熱器
日本礙子生產(chǎn)的陶瓷加熱器，被設(shè)計用于支撐和加熱硅晶片。它們由具有出色導(dǎo)熱性的氮化鋁(AlN)制成。它們與電阻加熱元件共同燒結(jié)，以提供出色的熱均勻性，并減少金屬污染。
日本礙子的靜電吸盤
日本礙子生產(chǎn)的靜電吸盤，被設(shè)計用于夾住硅片并使其保持平整，從而使硅片均勻地散發(fā)從等離子體接收到的熱量。其靜電卡盤具有優(yōu)異的強(qiáng)度、導(dǎo)熱性和抗熱震性，并且由于其專有的體積電阻率控制技術(shù)，能夠適應(yīng)各種溫度。用于此應(yīng)用的材料有氮化鋁（AlN）和氧化鋁（Al2O3）。
日本礙子的陶瓷零部件
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/平安）
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