中國粉體網訊 近日，露笑科技發布投資者關系活動記錄表，其中透露了合肥碳化硅項目新動態。 2020年8月8日、2020年9月15日，露笑科技分別與合肥市長豐縣人民政府、安徽長豐雙鳳經濟開發區管理委員會簽署《合肥市長豐縣與露笑科技股份有限公司共同投資建設第三代功率半導體（碳化硅）產業園的戰略合作框架協議》和《長豐縣招商引資項目投資合作協議》。
據悉，露笑科技將與合肥市長豐縣人民政府在合肥市長豐縣共同投資建設第三代功率半導體（碳化硅）產業園，包括但不限于碳化硅等第三代半導體的研發及產業化項目包括碳化硅晶體生長、襯底制作、外延生長等的研發生產，項目投資總規模預計100億元。
露笑科技表示，2021年6月25日，露笑科技與合肥北城、長豐四面體、合肥長豐產業投促創業投資基金合伙企業（有限合伙）（合肥產投作為主導）四方簽訂了增資協議。目前碳化硅襯底片已送樣并檢測通過，合肥露笑的生產設備已進入安裝調試階段。
露笑科技還表示，合肥投資的碳化硅工廠已全面掌握6英寸導電型碳化硅晶體生長工藝參數之間的各種耦合關系，確定了各工藝參數的優值，中試線生長成品率達到40%，具備了可重復、可批量生長碳化硅晶體的設備以及技術條件。其中露笑科技提供100%國產化的晶體生長設備，目前已根據工藝的改進，對長晶爐進行了三代優化，完成了設備定型。
這次合肥項目一期100臺設備已經完成出廠調試，預計7月底在合肥工廠完成安裝調試。襯底片已通過多家第三方單位的測試，已達到了P 級標準。隨著襯底加工設備、清洗設備、測試設備等的逐步到位，以及加工工藝的進一步優化，合肥工廠9月份可實現6英寸導電型碳化硅襯底片的小批量試生產。
（中國粉體網編輯整理/山川）
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