化學機械研磨

推薦盛美上海等多家廠商迎突破 碳化硅設備國產化加速

中國粉體網訊 近日，盛美半導體設備（上海）股份有限公司通過微信公眾號平臺宣布，其推出了新型化學機械研磨后（Post-CMP）清洗設備。盛美上海指出，這是公司第一款Post-CMP清洗設備，該設備可用于制造高質量襯底化學機械研[更多]