SiC超精拋光

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中國粉體網訊 SiC作為襯底材料，單晶SiC的表面粗糙度直接影響其在電子器元件中工作的效果與性能。為確保單晶SiC在半導體、襯底材料中的應用的穩定性，其表面粗糙度往往要達到納米級或以下（工業要求Ra<0.3nm）。眾所[更多]