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HON-He/Ar/Ne/Xe-SX/WX/VX系列惰性氣體純化器品牌
科立恩產地
遼寧樣本
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系列 Series | 雜質 Impurity | 入口 Inlet（ppm） | 出口 Outlet（ppb） |
HON- He/Ar/Ne/Xe -SX/WX/VX | O2 | ＜3 | ＜1 |
N2 | ＜1 | ＜1 | |
H2 | ＜1 | ＜1 | |
CO | ＜1 | ＜1 | |
CO2 | ＜1 | ＜1 | |
THC | ＜1 | ＜1 | |
H2O | ＜3 | ＜1 | |
PARTICLES | -- | ≤10pcs/m3, 0.003μm | |
Pressure Drop | ＜1bar | ||
Flow | 10～3000Nm3/h | ||
工藝介紹：
（1）先通過物理和化學吸附脫除O2、CO、CO2、H2O等雜質。
（2）通過吸氣工序高溫下進一步脫除O2、CO、CO2、H2O同時深度脫除CH4、N2。
（3）通過脫氫工序常溫下深度脫除H2雜質。
（4）吸附反應器吸附飽和后可通氫加熱再生，反復使用。
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