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襯底:2/4/6/8英寸
Substrate size :2/4/6/8 inches 基板サイズ：２/4/6/８インチ
數量:1片/多片
Quantity:1pcs/multiple pcs 數量：１枚/複數枚
控溫精度:精度高，溫區穩定性好
Temperature control precision : High temperature
control precision and good statlity in temperature zone
溫度制御精度：高精密度、溫度帯での安定性が高い
結構:立式/臥式可選，滿足多種尺寸襯底多種
操作方式需要
Structure: Vtica/horizontal structual is optional,can meet theneeds of customerswith various sizes ofsubstrates and variousoperation modes.
構造：縦型/橫型(オプション)、複數の基板サイズ及び動作モードのニーズに対応
安全保護功能:硬件保護+軟件互鎖
Security protection: Hardware protection+software interlock
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