本裝置系統自高溫爐后出口閥門起（無油真空泵開啟點由高溫爐控制啟停）：

A，回收氣自干式真空泵后開始，接雙聯脈沖過濾器后在氧分儀監控下選擇放空或啟動回收氣收集。

B，增壓系統工作：真空泵后排放氣體經氧分析儀監控后選擇運行動作，啟動回收程序，開啟氣動閥進入壓縮機前緩沖罐，在壓力傳感器作用下全自動運行，完成系統管道吹掃，在設定數據范圍內自動運行，經初級過濾粉塵、精密二級過濾，冷卻干燥脫水，除氧劑除氧、干燥純化設備深層吸附去除氬氣中的微量氧、水份及氣體微量雜質，得到相對純度極高的氬氣，*后經貴金屬精密過濾器送至工作點使用。

     回收氣中氧含量小于200ppm，含有微量一氧化碳和碳氫化合物，或帶有高溫下產生有機化合物等，含有3um以下顆粒物，

回收要求：回收后配純化設備除去氬氣中氧，一氧化碳，二氧化碳，碳氫化合物，有機氣體等雜質，配雙聯脈沖過濾器過濾顆粒并收集。

回收裝置組成：

1，從源頭上控制：在真空泵后配置雙聯脈沖過濾器過濾顆粒物并收集，使其進回收系統氣體的顆粒物殘留小于0.1um，減少在系統運行中造成堵塞風險。

2，回收源頭設微量氧分析儀，監測回收氣源中氧含量，按自編程序(含氧量0-1000ppm可選)運行，放空或回收（放空閥門開啟后有聲光報警）。

3，回收純化設備：采用多級純化方式，分段處理，層層分離，使其**限度地滿足高純氣需求。

4，回收系統和純化設備以整體撬裝機柜式提供，以一套自動控制系統集成控制，整體系統合成在一套移動式機柜內，真空泵電源開關由高溫爐控制。整體設備有聯鎖互鎖功能，數據輸出端有485接口，聯機可完成數據遠傳，遠程控制。供方提供總控制面板一塊，可鑲嵌至總控制臺完成整套設備的所以控制。

6，整體回收設備以封閉式機柜提供，外觀電腦灰烤漆，移動式腳輪設計（外加固定承壓支柱），外觀電腦灰烤漆, 獨立操縱面，美觀協調，整體占地面積約2m（寬）x2（深）x2m（高）（具體尺寸以實物為準）