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| 適用工件： (Applicable parts) | 6"*1花籃，8"*1 pc花籃 6”*1 Cassette,8”*1 pc Cassette |
| 批量產(chǎn)能： (Capacity) | 1 batch/10min |
| 工藝流程： (Procedure flow) | 上料(手動(dòng))→超聲堿性槽→HQDR槽→下料(手動(dòng)) Load(Manual)→Ultrasonic Alkaline Tank→HQDR Tank→Unload (Manual) |
| 主要材料： (Major material) | 金屬骨架SUS304+PP乳白板，槽體采用PPN/SUS316 (Metal frame SUS 304,Ice-cream PP board,Tank uses PPN/SUS316) |
| 運(yùn)送方式： (Transportation) | 手動(dòng)傳送 (Manual) |
| 節(jié)拍時(shí)間： (Step time) | 依工藝可調(diào) (Based on process,Adjustable) |
| 工藝效果： (Process effect) | 清除晶圓片表面的殘余拋光液和大顆粒(Removal residual slurry and larger particle on the surface of wafer) |
| 其他說明： (Others) | 設(shè)備可以根據(jù)客戶要求定制手動(dòng)/半自動(dòng) (Customized:Semiautomatic or manual) |
| 適用工件： (Applicable parts) | 6"*1花籃，8"*1 pc花籃 6”*1 Cassette,8”*1 pc Cassette |
| 批量產(chǎn)能： (Capacity) | 1 batch/10min |
| 工藝流程： (Procedure flow) | 上料(手動(dòng))→超聲堿性槽→HQDR槽→下料(手動(dòng)) Load(Manual)→Ultrasonic Alkaline Tank→HQDR Tank→Unload (Manual) |
| 主要材料： (Major material) | 金屬骨架SUS304+PP乳白板，槽體采用PPN/SUS316 (Metal frame SUS 304,Ice-cream PP board,Tank uses PPN/SUS316) |
| 運(yùn)送方式： (Transportation) | 手動(dòng)傳送 (Manual) |
| 節(jié)拍時(shí)間： (Step time) | 依工藝可調(diào) (Based on process,Adjustable) |
| 工藝效果： (Process effect) | 清除晶圓片表面的殘余拋光液和大顆粒(Removal residual slurry and larger particle on the surface of wafer) |
| 其他說明： (Others) | 設(shè)備可以根據(jù)客戶要求定制手動(dòng)/半自動(dòng) (Customized:Semiautomatic or manual) |
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