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性能特點：
?是具有高度靈活性的微波等離子發生器 ?可以有效應用在各種精密復雜的科研實驗中 ?對于表面凈化、超細清洗和表面活化及實時樣品制備的分析方法多樣化應用 ?是廣泛的操作范圍內的氣體流量和微波功率等不可缺少的先決條件 |
主要技術參數：
輸出功率 | 260W － 1500W |
| 極限真空度 | ≤5×10-5Pa·m3/s |
| 氣體質量流量控制 | 多路 |
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