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小型超高真空退火爐
真空室結構:
退火室為立式雙層水冷真空室，進樣室為臥式結構
真空室尺寸:
φ350mm
極限真空度:
≤6.67E-7Pa
沉積源:
無
樣品尺寸，溫度:
φ4英寸，1片，**1600℃
占地面積（長x寬x高）:
約3米x1.1米x2米
電控描述:
手動
工藝:
不含工藝
產品概述：
由退火腔，樣品庫，進樣室，加熱器，真空系統組成。可實現在10-5帕超高真空狀態下對工件退火1600℃
設備用途：
主要用于各類工件的退火;表面淬火件回火;焊件消除應力退火、時效等熱處理工藝。
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