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型號：美國Tektronix Keithley 4200A-SCS
功能：使用4200A-SCS加快半導體設備、材料和工藝開發的探索、可靠性和故障分析研究。 **性能參數分析儀，提供同步電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)和超快脈沖(I-V)測量。
技術參數：
﹡直流電流-電壓(I-V)范圍：10aA-1A，0.2μV-210V
﹡電容-電壓(C-V)范圍：1kHz-10MHz，±30V 直流偏置
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