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輪廓儀
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輪廓儀

NanoMap-500LS

接觸式三維表面臺(tái)階儀NanoMap-500LS

NanoMap 500LS探針三維臺(tái)階儀

特點(diǎn)

常規(guī)的探針輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)的**結(jié)合

 雙模式操作(針尖掃描和樣品臺(tái)掃描),即使在長(zhǎng)程測(cè)量時(shí)也可以得到**化的小區(qū)域三維測(cè)圖

 針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式,三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺(tái)掃描使用高級(jí)別光學(xué)參考平臺(tái)能使長(zhǎng)程掃描范圍到50mm。

 接觸式探針輪廓儀在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對(duì)樣品直接觀察

 針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器,同時(shí)擁有寬闊測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍(**至500μm)及亞納米級(jí)垂直分辨率?。??。?1nm )

 軟件設(shè)置恒定微力接觸

 簡(jiǎn)單的2步關(guān)鍵操作,友好的軟件操作界面

應(yīng)用

三維表面形貌/輪廓儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度,臺(tái)階高度,二維粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),三維粗糙度(Sa,Sq,Smax),劃痕截面面積,劃痕體積,磨損面積,磨損體積,磨損深度,薄膜應(yīng)力(曲定量率半徑法)等定量測(cè)量。擺脫了以往只能得到二維信息,或三維信息過于粗糙的現(xiàn)狀。將臺(tái)階儀帶入了另一個(gè)高精度測(cè)量的新時(shí)代。

三維表面輪廓測(cè)量和粗糙度測(cè)量,即適用于精密拋光的光學(xué)表面也可適用于質(zhì)地粗糙的機(jī)加工零件。

薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量

劃痕形貌,磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量

空間分析和表面紋理表征

平面度和曲率測(cè)量

二維薄膜應(yīng)力測(cè)量

微電子表面分析和MEMS表征

表面質(zhì)量和缺陷檢測(cè)

環(huán)境要求

濕度:10-80%, 相對(duì)濕度,無冷凝

溫度:65-85 華氏度(△T<1度/小時(shí))

電源要求:110/240V,50/60 Hz

技術(shù)規(guī)格 標(biāo)準(zhǔn)樣品 臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)樣品(NIST認(rèn)證) 100μm

系統(tǒng) 光學(xué)照相機(jī)視場(chǎng)范圍 1.5 X 1.5mm

光學(xué)照明 軟件控制暗場(chǎng)和亮場(chǎng)

電腦 Pentium IV, USB2.0聯(lián)接

操作系統(tǒng) Win XP

系統(tǒng)動(dòng)力需求 90-240V,350W

空間尺寸 20’’ 寬X 22’’長(zhǎng) X 25’’高

重量 160lb

聯(lián)系方式:aep Technology

電話:+86-010-68187909

傳真:+86-010-68187909

手機(jī):+86-何先生

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10分

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