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ML7300 遠紫外線 光譜儀
♦ 用于軟X射線和遠紫外線
♦ 易于使用，直接調整光源
♦ 標準平面圖像，低雜散光，光學畸變校正
♦ 省時，光柵變化后無需調整
♦ 模塊化，利用ML7310真空縫，ML3214相機，ML7320能量監控
器 - 所有設備安裝在一起，就可完成測量工具升級
♦ 調整輪(手動控制的狹縫寬度從0 到 400 μm) 和 鎖定機制
♦ 根據需求定制
光學規格
| 類型: | 標準平面圖像光柵光譜儀 |
| 光學元件: | 像差校正成像反射光柵 |
| 入口: | 2°光柵傾斜調整 |
| 光譜范圍: | 1 to 21 nm (多個光柵) |
| 光譜分辨率: | > 600 (取決于光柵，源和探測器的選擇) |
| 對象寬度: | app. 237 mm |
| 成像寬度: | app. 235 mm |
| 譜長度: | app. 25 to 30 mm |
| 光譜寬度: | 達到 27 mm (可以根據選擇 ML7300真空狹縫進行調整) |
相機大致的對準平面圖像的范圍；用千分尺調整約50毫米(1 pm at 10 nm)。零階成像和校準。
機械特性
| 輕型入口法蘭: | DN100-ISO-CF |
| 輕型出口法蘭: | DN63-ISO (K)F or DN 6.75 inch CF |
| 出 口: | DN16 針孔閥， 內藏的 |
| 泵 法 蘭: | DN63 |
| 擺 動: | DN63 |
| HV 兼 容: | 所有材料都是不銹鋼和鋁，兼容 HV |
| 尺寸規格: | 760 x 430 x 405 mm 3 |
| 重 量: | 大約 36 kg |
鎖定千分尺可以進行旋轉和傾斜調節，該支點位于平面圖像上。
附 件
♦ 按要求對光柵鍍金
♦ 附加安裝光柵的（建議快速交換光柵，節省調整）
♦ 應用特定的羅珀科學或metrolux的相機
♦ ML7310真空狹縫(使用光譜儀系統選項)
♦ 真空法蘭以適應請求的自定義設計
♦ 光柵容易對準校準激光器和狹縫
♦ beamlux II 軟件
♦ PC or laptop
♦ 激光同步裝置或觸發盒子
♦ 工作車高度可調 (900 mm x 750 mm x 800 mm)
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