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Semiconsoft MProbe 膜厚測試儀
MProbe 讓 你 成 為 測 量 專 家 ！
大部分半透明的或具有輕微吸收性的薄膜能夠被快速、可靠的測量：氧化物、氮化物、感光耐蝕膜、聚合物、半導體(Si， aSi，polySi)、硬涂層(SiC， DLC)， 聚合物涂料 (聚對二甲苯，PMMA，聚酰胺)， 薄金屬薄膜等。
厚度和其他參數的均勻性測量對于許多應用程序是很重要的。
映射選項包括:
1.XY電動平臺(150，200和300毫米游程)
2.固體19 x19"鋁合金平臺
3.探頭架(反射/透射測量均可)與光學系統
4.調節器
5.支持軟件(映射配方，等等)。
定位精度 | < 2 μm |
分辨率 | < 0.5 μm |
驅動 | 步進電機 |
調節器 | 一體化平臺 |
通訊 | 串口(RS232) |
尺寸 | 19” x 19” x 10” ( 6” 和 8”階段) |
重量 | 12 kg |
硬件選項 | |
-150XYM | 6”x6” (150x150mm) XY電動平臺 |
-200XYM | 8 x8”(200x200mm) XY電動平臺 |
-300XYM | 12x12”(300x300mm) XY電動平臺 |
-VAC | 真空夾盤(樣品架通過一個電機泵插入微孔) |
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