Herzan TS Series主動隔振臺 TS-300 TS-150 TS-140

TS Series

主動隔振系統

新一代隔振技術

產品特點

• 主控頻率0.7 Hz to 1，000 Hz

• 被動防振頻率>1000 Hz

• 自動調節負載

• 即插即用

• LCD顯示屏實時顯示震動情況

應用

• SPM (AFM， STM， NSOM，等)

• 干涉測量

• 熒光顯微鏡

• 摩擦學和納米凹痕

• 高精度計量

• 高分辨率顯微鏡 •輪廓測量 • 細胞外培植

主動隔振的優勢

系統主動檢測輸入震動并動態消除

• 六個自由度隔振

• 內部反饋回路抑制所

• 有機械共振

• 更出色的低頻性能

• 比被動隔振系統性能高500倍

• 沒有空氣要求

隔振

隔振 主控頻率0.7 Hz to 1000 Hz ， 被動防振頻率>1000 Hz

六個角度自由隔振

傳輸率 超過10 Hz <0.01 (-40dB)

系統噪聲 小于20nG/√Hz (所有方向0.1-200 Hz內)

靜態柔度 垂直方向: 約12 μm / N

水平方向: 約30 - 40 μm/ N

電氣

安全等級 1

耗電量 通常為10 W， **為50 W (70 VA)

輸入電壓 115-230 V AC 10%， 50-60 Hz

信號監控器 通過在示波器上顯示的一個復用信號來表示是否帶有隔振效果的震動等級

儀器表面材料

材料 鋁合金， 也有鐵磁鋼孔或螺紋孔