F50薄膜厚度測量儀

自動化薄膜厚度繪圖系統

依靠F50先進的光譜測量系統，可以很簡單快速地獲得zui大直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標移動平臺，可以非常快速的定位所需測試的點并測試厚度，測試非常快速，大約每秒能測試兩點。用戶可以自己繪制需要的點位地圖。F50系統配置高精度使用壽命長的移動平臺，確保能夠做成千上萬次測量。

系統中預設了許多極坐標形、方形和線性的圖形模式，也可以編輯自己需要的測試點。只需掌握基本電腦技術便可在幾分鐘內建立自己需要的圖形模式。

可測樣品膜層

基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測量。可測樣品包括：

FILMeasure軟件提供兩種分析模式：Sepectru-Matching 與FFT。在Spectrum-Matching模式中，您可以分析厚度 與折射率。反正，FTT模式雖然只能測量厚度，但在較厚 的薄膜厚度測量，FFT的分析能力更為健全。

選擇Filmetrics的優勢

• 桌面式薄膜厚度測量的全球**者

• 24小時電話，E-mail和在線支持

• 所有系統皆使用直觀的標準分析軟件

附加特性

• 嵌入式在線診斷方式

• 免費離線分析軟件

• 精細的歷史數據功能，幫助用戶有 效存儲，重現與繪制測試結果