Film Sense FS-1™ 多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現快速和可 靠地薄膜測量。

大多數厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量，就 可以獲得非常精密和準確的數據。還可以測量大多數樣品的光學常 數和其他薄膜特性。

FS-1 這款功能強大的多波長橢偏儀，售價只是單一波長橢偏儀

和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1 可應用于研究實驗室，超凈間，原位工藝腔體以及工業質量控制等諸多領域

主要特點

? 4 個 LED 光源：藍色（465nm），綠色（525nm）， 黃色（580nm），紅色（635nm）

? 橢偏儀探測器中無可移動部件

? **的膜厚精密性，大多數樣品精密度優于 0.001nm（1 秒獲取數據），對于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm

? 集成計算機，可實現對設備控制和數據分析，自帶 瀏覽器界面，可兼容任何現代計算機，筆記本或平 板電腦

優勢

? 壽命長（長達 50，000 小時），更換 LED 燈便宜，校準時 間短或無需 PM 程序

? 快速測量（10ms 內獲得多波長數據）和長期性能穩定

? 測量精確，只有橢偏儀可以實現

? 軟件設置和維護簡單

標準 FS-1 配置

? 65°入射角

? 手動放置樣品和調節高度

? 樣品尺寸**直徑 200mm 和厚度 23mm

? 樣品偏轉范圍+/-20

? 樣品上光束尺寸 5 x 12 mm

? 結構緊湊(180 x 400 mm) 和輕巧(4.8 kg)

性能

FS-1 多波長橢偏儀擅長測量膜厚范圍 0-1000nm 的透明單一薄 膜的厚度和折射率。下表列出的是針對各種不同樣品，包括多 層膜樣品，FS-1 獲得的標準測量精密度和準確性數據。