遠程控制等離子清洗機

型號：EM-KLEEN

用于電子顯微鏡等分析儀器如SEM、FIB、TEM樣品室的清潔、XPS和SIMS、ASE 系統

源于勞倫斯伯克利國家重點實驗室的SmartClean^TM

技術，設計精巧，智能，功能強大

EM-KLEEN 構成：

Pirani壓力傳感器 ：實時監測樣品室壓力，可以作為安全模式的安全聯鎖觸發器，并未功能計數器加載事件

自動氣體流量控制器 ：很容易真空抽到10-7 Torr，自動調節氣體流量

等離子強度傳感器 ：用戶可實時監測等離子強度狀態

溫度傳感器 : 提供聯鎖保護，防止長時間工作電源工作溫度過高

冷卻風扇 ：大功率風冷冷卻，而不會導致電源過熱

液晶觸摸屏控制器 ：嵌入式微處理器，串聯工作，自動控制系統，并為客戶提供保護

如何在真空環境中清除碳氫化合物污染物？

應用領域

SEM腔體清洗10分鐘前后的變化對比

6分鐘快速去除碳標記