橢偏儀

SpecEL-2000是一款操作便捷的臺式光譜橢偏儀，主要用于測量平整和半透明的樣品，例如硅晶圓片和玻璃片等薄膜。

橢圓偏光技術是一種非接觸式、非破壞性，以光學技術測量表面薄膜特性的方法。其檢測原理是：當一束偏振光經過物體表面或界面時，其偏振極化狀態會被改變。而橢偏儀就是通過探測樣品表面的反射光，來測量此改變（即反射光和入射光的振幅及相位的改變量），以決定表面特性薄膜的光學常數（n、k值）及膜厚。

SpecEL-2000測試系統主要包括：寬帶光源、高性能線陣CCD光譜儀、導光器件、起偏器、樣品測試臺、檢偏器、光學增強元件及測量分析軟件。

SpecEL-2000適合于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構特性，通常應用于有薄膜存在的地方，其應用包括光學鍍膜和保護膜、聚合物、光刻材料、平面平板顯示、計算機讀寫頭以及半導體集成電路制造的研究開發。另外，在生物、醫學、化學、電化學及材料研究等方面有著廣泛的應用。

SpecEL橢偏儀基本性能：

●基本型號：SpecEI-2000-UV/VIS/NIR & SpecEI-2000-VIS/NIR

●光譜范圍：290-1050nm (UV/VIS/NR) & 400-1000nm (VIS/NIR)

●測量范圍：1nm~10μm

●膜厚分辨率：0.1nm

●測量時間：7~13s

●測量膜層：32層

●光束直徑：300×1200μm (Smaller spots available)

●入射角度：700 (other angles available)

●樣品調整：高度±1mm；傾斜±10

●測量指標：光學常數(n&k)及膜厚

●快速響應：在線測量

●基底材料：硅晶片和玻璃片等

●數學模型：折射率/諧振子/柯西/塞耳邁耶爾/麥克斯韋-加尼特等數學模型

●應用場合：光學鍍膜/保護膜/聚合物/光刻材料/平面平板顯示/導體集成電路