PlasCalc等離子體監控系統

PlasCalc等離子體監控系統通過測量等離子體反應腔的發射光譜，實時監測反應腔內的等離子體組分和密度、等離子體溫度、電子密度等參數。由等離子體發射光譜的強度值可計算得出等離子組分、顆粒密度及電子密度；由同一電子的能量吸收譜線同另外譜線的對比可計算得出電子溫度。測量輸出結果，可反饋控制等離子體的發生，從而獲得**的反應流程和效果。

PlasCalc等離子體監控系統主要包括：高性能線陣CCD光譜儀、傳輸光纖、接收透鏡、過程監控裝置及測量分析軟件。

PlasCalc應用于測量等離子體鍍膜沉積情況，監測等離子濁刻，檢查表面清潔處理，分析等離子反應腔控制情況，監測異常污染排放現象，磁控濺射、光學鍍膜、終點測量、開發等離子過程的監測和控制優化。

PlasCalc等離子體監控系統基本性能：

●測量范圍：測量發射光譜獲得等離子體組分/密度/電子溫度等參數

●光譜范圍：200-1100nm

●探測器：2048像素CCD

●光譜分辨率：1nm

●A/D轉換：14位

●通訊方式：USB1.1

●供電方式：直流12V；1.25A

●應用場合：等離子體鍍膜沉積/等離子體監測/安全監控/反映過程優化/終點測量

◆PlasCalc等離子體監控系統應用軟件

-實時在線監測等離子過程的發射光譜

-監測和控制的雙屏幕技術

-8數字量輸入/輸出；4模擬量輸出

-終點、啟動、停止及限位的信息音提示

◆備選附件

-SpecLine Software：峰值查找和譜線辨別

-UV & UV-VIS & NIR 傳輸光纖

-COL-UV-6 & COL-UV-30準值透鏡

-VFT真空接管

-PVFT-UVX & PVFT-UVX真空法蘭接頭