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Micro-Vu的高精度視覺量測系統具有強大的功能性，可被廣泛的應用在各種量測的需求先進的機構設計造就了高性能的速度與精度，前瞻性的機電整合技術，運用USB傳輸，簡化了量儀與電腦的溝通InSpec for Windows 幾何量測軟件提供簡易且人性化的接口，讓量測、資料轉換及報表輸出變得容易操作與上手，InSpec提供免費升級含日文版本先進的光源系統提升了尋邊與自動對焦的辨識能力與功能。
產品概述&參數
規格參數：
基本規格 | Excel 662 |
量測行程 | X650xY680xZ250mm |
X，Y軸精度 | U=3.0+L/200mm (L=量測距離) |
Z軸精度 | U=3.0+L/200mm (L=量測距離) |
光學尺分辨率 | 0.1μm |
移動速度 | 500mm/s |
X，Y軸加速度 | 1000mm/s2 |
Z軸加速度 | 500mm/s2 |
床臺材質 | 花崗石 |
光學鏡頭/倍率范圍 | 12:1 Programmable Zoom/～14x-400x |
承載重量 | 100公斤 |
外觀尺寸 | 長1311寬1604高1788毫米 |
機臺重量 | 1350公斤 |
環境要求 | 溫度20±2°C，濕度30-80% |
電源需求 | 93-264VAC， 47-63Hz， 10Amp max. |
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