SU-70電子顯微鏡是一種新概念掃描電子顯微鏡，它采用了日立經(jīng)過實(shí)地驗(yàn)證的 "semi-in-lens"超高分辨率技術(shù)以及肖特基熱場發(fā)射電子槍技術(shù)。除了具有超高分辨率（1.0 nm/15 kV，1.6 nm*/1 kV）的特點(diǎn)外，它還借助聲名遠(yuǎn)播的SuperExB功能可觀察減輕荷電圖像，成分構(gòu)成對(duì)比圖像，超低加速電壓圖像*。肖特基場發(fā)射電子槍的探針電流為100 nA，可進(jìn)行各種各樣的分析操作（X 射線能譜儀*， X射線波譜儀*，電子背散射衍射系統(tǒng)*等）。