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俄羅斯Optosystem準分子激光器CL7000
準分子激光器： CL7000， 俄羅斯 Optosystem
準分子激光器是傳統的氣體激光器，由于波長短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應用上，準分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導的地位。
CL7000系列技術參數：
型號 | ArF | KrF | XeCl |
波長 | 193 nm | 248 nm | 308 nm |
管材料 | 陶瓷 | ||
預電離 | 火花 | ||
標準脈沖能量 | 250 mJ | 400 mJ | 300 mJ |
平均功率 CL 7020 CL7050 CL 7100 | 5 W 10 W 20 W | 8 W 20 W 35 W | 6 W 15 W 25 W |
**重復頻率 CL 7020 CL 7050 CL 7100 | 20 Hz 50 Hz 100 Hz | ||
脈寬 | 17 ns | 20 ns | 20 ns |
脈沖穩定度 | sigma < 2% | ||
光斑大小 | 6 x 20 mm | 6 x 21 mm | 7 x 22 mm |
光束發散角 | 1.5 x 4.5 mrad | ||
時間抖動 | < 2 ns | ||
尺寸， (重量) | 1350L x 375W x 710H мм (170 kg) | ||
冷卻 CL 7020 CL 7050 CL 7100 | 風冷 水冷（水流< 1L/min） 水冷（水流< 3L/min） | ||
功率 CL 7020 CL 7050 CL 7100 | 220V / 50Hz， 10А， 不超過1500 VA 220V / 50Hz， 10А， 不超過 1800 VA 380/220V， 50Hz， 10А， 不超過 3500 VA | ||
氣體 | 1 premix cylinder | ||
控制接口 | RS 232， DOS/Windows | ||
可選功能：
1 、1000Kz型號可選
2、窄線寬型號可選，線寬0.03cm-1
3、 F2，157nm型號可選
特點：
1、陶瓷放電激光腔設計，長壽命
2、激光腔，電子系統一體化設計
3、功率穩定運行模式
4、預混合供氣，使用簡單
5、計算機控制
應用 ：
1、準分子激光脈沖沉積鍍膜
2、準分子激光光柵光纖（FBG）刻寫
3、準分子激光材料加工，微納制造，光刻
準分子激光激光沉積鍍膜（PLD）系統示意圖
準分子激光器光纖光柵（FBG）刻寫原理圖
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