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日本電子JEOL場發射掃描電鏡JSM-IT800SHL
日本電子JEOL場發射掃描電鏡JSM-IT800SHL

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深圳市藍星宇電子科技有限公司

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日本電子JEOL場發射掃描電鏡 JSM-IT800SHL, 是JSM-7900F 的升級版
JSM-IT800SHL 是日本電子株式會社(JEOL) 2020 年**推出的場發射掃描電鏡,它秉承 JEOL 熱場發射掃描電鏡 JSM-7900F 的大束流,高穩定性的傳統,同時將分辨率提高到新的極限,全新設計的超級混合型物鏡,高分辨率的獲得以及磁性樣品的觀察都可以同時完成,而且標配 JEOL **開發的 NEO Engine,使得任何人都可以操作該設備得到高質量的圖像,是一款非常適合材料分析研究的設備。
JSM-IT800SHL 場發射掃描電鏡主要特點
。超高分辨圖像的觀察,**放大倍數 3 百萬倍
0.5nm (二次電子,加速電壓:15kV)
0.7nm (二次電子,GB 模式,加速電壓:1kV) 突出的低壓分辨率
。加速電壓: 0.01kV~30.0kV, *低可以到 10V,仍然可以得到高分辨率圖像。
。高穩定的大束流強度:
日本電子的 JSM-IT800SHL 熱場電子槍浸沒在聚光鏡上半部,發射出的電子束可以全部進入聚光鏡,使得分析束流從 15KV 下 10-20nA 提高到 500nA,能譜、波譜等分析效率效果明顯改善。與此同時,濺射出的污染明顯減少,槍的壽命大幅度延長。分子泵系統:真空系統潔凈,抽氣速度快,維護簡單。
。大束流下保持高分辨率
小束流觀察時,容易得到小束斑,保證高分辨率。提高束流,束斑尺寸不容易維持,分辨率衰減較快,這也是早期熱場電鏡無法取得高分辨率的原因。日本電子的 JSM-IT800SHL 在物鏡光闌下端多設計了一級磁透鏡(**光闌角控制透鏡 ACL),可以對電子束進行優化,得到大束流下的小束斑。原本 500pA 下就很難獲得圖像的情況改進到束流 500nA 下依然圖像清晰,從根本上解決了大分析束流與高分辨率圖像并存的難題。同時給出了一個分析模式下的分辨率保證值,這是其他廠家無法保證的。
。**開發的超級混合式物鏡:應用領域廣泛,可以直接做磁性樣品,無需任何模式切換
。 NEO Engine:全新開發的 NEO Engine 優化系統,可以簡單一鍵自動聚焦合軸,無需任何操作基礎,輕松可以達到高倍下一鍵聚焦,使得該設備的易用性達到了新的高度。
。五軸馬達樣品臺標準控制:使用極為方便;
??旖莸碾p換樣方式:利用 JSM-IT800SHL 的標準配置氣鎖加大開門設計,即可裝入直徑**為170mm 樣品,氣鎖換樣速度快污染小,同時支持側面大開門換樣,這樣對于大樣品和特種附件的安裝就更加方便;
。 新型探測器:Inlens 探頭 UHD 探頭可以高信噪比的進行二次電子成像。對于表面精細結構更加靈敏,同時適合斷口樣品分析。
。浸沒式熱場發射電子槍(**):束流穩定性高,電子槍壽命超長,質保期為 3 年。
。**光闌角控制透鏡(**):無須手動切換光闌,束流大小完全由計算機自動控制;
。離子泵的電源支持:停電后*長可以堅持 14 天,電池更換每次只需 200 元左右。
。良好的可操作性:控制界面設計非常友好,使用極為便利;
。穩定的 GB 模式:標準配置??梢杂行б种瞥潆姾吞岣叩碗妷合碌姆直媛?**);
。一體化能譜分析:配合一體化能譜儀(EDS)分析時,可以實時顯示圖像和成分信息,無需模式切換。
。超長的發射體壽命: 由于采用 In-Lens 技術,我們的束流強度可以達到 500nA,其他廠家只能做到 20nA.我們在做成分分析時,或搭載 EBSD 或 WDS 時,分析速度和結果的精確度遠遠高于他們。采用了 In-Lens 電子槍技術和**的氣鎖換樣系統,我們的發射體質保 3 年,用戶一般使用在 6 年以上,而其他廠家只能提供質保 1 年的承諾。
。優秀的技術支持和售后服務:日本電子株式會社在中國建立獨立的維修站已經超過 20 年,擁有經驗豐富的技術工程師(包括常駐的外國工程師)60 多人,反應快,技術力量強。
JSM-IT800SHL 場發射掃描電鏡系統主要性能參數
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