URE-2000/A12 紫外單面光刻機

1、設(shè)備主要技術(shù)指標：

(1) 曝光面積： 300mm×300mm；

（2）分辨力：±2μm；

（3）對準精度：±2μm；

（4）掩模尺寸： 7 英寸、9 英寸、13 英寸；

（5）樣片尺寸： 6 英寸、8 英寸、12 英寸；

（6）wafer chuck 表面：防止光反射涂層；

（7）掩模樣片整體運動范圍：X：10mm;Y:10mm；

（8）掩模相對于樣片運動行程：X:±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6°；

（9）汞燈功率：1000W（直流）；

（10）曝光能量密度：≥ 10mW/cm 2 ；

（11）曝光峰值波長:365nm；

（12）光源平行度：＜2°；

（13）曝光方式：定時（計時方式 0.1s—9999.9s）；

（14）光刻版夾具兼容性

2．技術(shù)主要組成部分

（1）曝光頭系統(tǒng)包括:

。冷光橢球鏡；

。 德國 OSRAM1000W 直流高壓汞燈；

。 XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺；

。 光學(xué)系統(tǒng)（冷光紫外平面反射鏡、快門、蠅眼透鏡組、冷光紫外拋物面反射鏡）；

。 冷卻風(fēng)扇。

（2）對準工件臺系統(tǒng)包括:

。 掩模樣片相對運動臺；

。（XY），轉(zhuǎn)動臺；

。 樣片調(diào)平機構(gòu)；

。 樣片調(diào)焦機構(gòu)；

。承片臺 3 個： 6 英寸、8 英寸、12 英寸；

。 掩模夾 3 個： 7 英寸、9 英寸、13 英寸。

（3）CCD 對準顯微鏡系統(tǒng)包括:

。4 倍顯微鏡 2 只；

。照明光源 2 套；

。 CCD 相機 2 只；

。22 英寸液晶顯示器。

（5）電控系統(tǒng)：

。 汞燈觸發(fā)電源(1000W)；

。 單片機控制系統(tǒng)；

。控制柜桌。

（6）氣動系統(tǒng)系統(tǒng)包括:

。 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)，電磁閥驅(qū)動，氣動儀表等

（7）其他配置與附件

。真空泵一臺；

。空壓機一臺；

。配套氣管 10m；