高真空檢漏儀采用高分辨顯微鏡平臺，xy軸微運動集成，以及高分辨電子相機和顯示屏，完全契合電鏡使用，具有極高的直接壓力分辨率和泄漏檢測靈敏度，并具有強大的擴展輸入和輸出、多通道參數設置和選擇、大容量記錄和存儲、通信處理、質量檢測、數據傳輸的功能等等。檢測靈敏度高，位置精確，操作便捷。

技術參數：

1)整體尺寸：L*W*H=600*600*1250，柜臺高805（單位：mm），以實物為準。

2)壓力范圍：0-1000mbar。

3)適用電鏡樣品臺：FEI、JEOL、Hitachi（適配）

4)適用原位反應艙芯片：自組裝鍵合一體式芯片，加熱芯片，納流體芯片。

5)極限真空小于等于1×10^-6 mBar，原位樣品臺檢漏操作真空度小于等于8×10^-5 mBar。

6)接口模塊含控制閥門，以在電源關閉時保持真空狀態，或在檢漏完成，實現檢漏模塊氣體通入，加速樣品臺取出過程。

7)數字顯微系統分辨率優于1微米，幀率大于等于30幀/秒。