STP-iXA2206系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業內**的性能，可將小型電源供給集成到機載控制器內（成熟的STP-iXA2205系列的**技術）。該泵的高度等于STP-A2203C的高度，也等于STP-iXA2205系列（不帶其電源供給(iPS-1200)）的高度。這一完全集成的產品易于安裝且占地面積小，可作為所有應用工具的一體化解決方案。

用途

· 金屬（鋁）、鎢和電介質（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）

· 電子回旋共振(ECR)刻蝕

· 薄膜沉積CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

· 濺射

· 離子注入源，射束線泵送和站

功能與優勢

· 緊湊型設計，包括完全集成的控制器

· 創新性自傳感軸承系統

· 數字化5軸控制

· 與現有渦輪泵相比振動級別降低了50%

· 可以配置為運行腐蝕性制程

技術數據

***氣流適用于在15-25 °C之間的水冷卻溫度下連續泵送N2或Ar氣體，并且使用前級泵（10，000 l/min大?。┑那闆r。它會隨條件變化而變化。