日本ULVAC公司的蒸發源(EB槍)均采用磁場偏轉.并防止蒸發材料污染的構造.

特點推薦EGN系列平頂結構如下:

特點:

一平頂結構.防止飛濺.

1平頂結構能讓從坩堝中產生的二次電子很難通過反射飛濺打到基片上.造成污染.

2平頂結構使得人們追求的180度

偏轉成為可能.平項結構的電子槍，頂端不易附著沉積物.既便長期使用后會有少許生成，因其沒有

任何羈絆，使得清潔非常容易.

二易于拆解.方便維護.

1通過結構的優化，減少使用瑣碎零件的數量.

意味著后期維護工作的大幅輕減.零件數量減少35%，既將來的清洗維護的工作量減少35%，

2采用新式結構型零件.

采用了兩點定位的導軌定位銷.不會造成裝錯的現象.讓得普通的操作人員也可以進行拆解/組裝電子槍.

降低維護門檻.

3采用長壽命燈絲.

燈絲壽命是其他公司的三倍.能減少因斷絲而造成的不必要的意外停機.

三數字式控制系統及快速的滅弧重啟系統.

1關于通過采用數字化的控制界面調整發射功率， 調整是電子束形狀.保證掃描圖形.并有多種人性化

用戶可操作界面.

2對于蒸發材料上生成氧化物后，電弧不穩，或干脆滅弧的現象，配備有快速重啟功能.速度是其他公司的二十倍之快.

EGN-206M/406MEGP-1G

維護用備件數量精減.平頂構造180度偏轉，長壽命燈絲.

冷卻均勻.保證高鍍膜速率.精準轉向.穩定的長時間

輕松方便地調整發射角度保持電子束流中心位置.

安全的地線設計和形狀.維護后裝回過程

由專業制具輔助.輕松完成

坩堝定位.