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公斤級粉末原子層沉積鍍膜系統
詳情介紹：
KG 系列粉末ALD包覆設備可用于電池、催化劑、磁性材料等材料的高精度包覆量產。
該系統能夠包覆原子層級到納米層級的范圍內的厚度，具有超高靈敏度、均一性和重復性， 并具有高自動化程度，操作方便、擴展靈活。
技術參數：
均一性 < 3%
工藝溫度 RT-300℃
極限壓力 < 500mTorr
罐體容積近60L，百公斤級別/批次
1、樣品裝載量最大每批次可達百公斤，大幅降低生產制造成本；
2、立式提料分散，配合底部進氣方案，保證粉體與前驅體充分接觸，有效提高包覆均勻性和高覆蓋率；
3、可提升量子點、鋰電池、催化劑等的循環壽命、安全性以及耐溫耐壓性。
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