探測器：
二次電子探測器、BSE/EDS可選加速電壓：
1-30kv電子槍：
發叉式鎢絲陰極電子光學放大：
--光學放大：
20x ~ 150,000x分辨率：
5.0nm @30KV SE看了COXEM EM-30臺式掃描顯微鏡的用戶又看了
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產品簡介：
EM-30高分辨多功能臺式顯微鏡是COXEM公司成功的在EM-20基礎上進行系統升級與拓展，將加速電壓調節范圍擴展到30KV，電壓調節更為寬泛。尤其對于選配EDS的用戶，分析能力獲大幅提升；同時，EM-30還將幫助用戶獲得更高電子光學的分辨能力，有效放大倍數進一步提高；
EM-30的樣品臺增加了馬達驅動傾斜臺，由庫賽姆[COXEM]NanoStation計算機導航自動操作，不但可實現立體的觀察，而且通過對樣品臺精細地調節角度，可使用樣品室SE探測器獲得良好的背散射電子圖像。
技術特點：
*自動高亮度電子槍，全數字化高壓電源，0.5KV~30KV范圍內隨意調節；
*聚光鏡精細控制 Spot size設置10檔調節；
*圓錐形物鏡，具有更高分辨性能；
*四孔可變光闌，分別用于高分辨觀察和不同的分析目的。
*實時灰度直方圖，自動亮度對比度；
*X Y T, 3軸自動樣品臺
*可選Bse探測器、低真空功能和能譜儀。
*COXEM NanoStation操作軟件，內含豐富的圖像編輯處理功能
技術指標：
鍵盤/鼠標
項目 | EM-30 |
外形尺寸 | 400(W寬) x 600(L長) x 550(H高)mm, 90kg |
分辨率 | 5.0nm @30KV SE |
10nm @30KV Bse | |
放大范圍 | 20x ~ 100,000x |
加速電壓 | 1KV ~ 30KV |
電子槍 | 發叉式鎢絲陰極 |
探測器 | 二次電子探測器、BSE/EDS可選 |
EM-30 樣品臺 | X: 35mm (Motorized馬達驅動)， |
Y: 35mm (Motorized馬達驅動)， | |
T: 0 ~ 45o (Motorized) | |
R: 360°， | |
Z: 0 ~ 60mm | |
樣品尺寸 | 45mm (高), 70mm (直徑) |
真空系統 | 渦輪分子泵真空系統 |
自動功能 | 啟動,聚焦, 燈絲, 亮度/對比度 |
操作系統 | Windows 7 |
操作方式 |
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