設備特點：該設備是由開啟式真空管式爐根據特殊工藝要求而設計的，其滑軌式結構設計在實驗過程中可滿足多種工藝要求，可將樣品直接推至實驗所需設定高溫區，使樣品能得到一個快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環境下，得到快速的降溫速率，滿足工藝要求對升降溫要求較高的實驗，是一款性價比很高的產品，同時具有一定的可擴展性，比較適用于二維材料，碳材料的實驗要求。

一、技術參數：

額定功率：3kw

**溫度：1200℃

工作溫度：1100℃

建議升溫速率：10℃/min（此為爐體本身的升溫速率，通過滑動加熱區可獲得更快的升降溫速率，溫差較大條件下可達10℃/S）

爐管：高純度石英管Φ50x1400mm

加熱區長度：440mm

恒溫區長度：200mm

控溫精度：±1℃

熱電偶：K型

管堵：石英管堵2個

控溫方式：模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能

尺寸： 1900*640*1320mm

操作界面：觸摸屏

滑動方式：手動

二、雙通道質量流量控制器MFC-2Z

參數：

連接頭類型：Φ6雙卡套不銹鋼接頭。

標準量程（N₂)：氫氣20sccm、氬氣2000sccm

準確度：±1.5%

線性：±0.5～1.5%

重復精度：±0.2%

響應時間：

氣特性：1～4 Sec

電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

**壓力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

顯示：4位數字顯示

工作環境溫度:5~45高純氣體             

內外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格   截止閥：Φ6

控制軟件：該系統采用觸摸屏為操作元件，PLC程序與流量計精準通訊，具有反應時間短，誤差小等優點。

三、 分子泵系統（萊寶）

分子泵型號：TURBOVAC 90i

抽速：N2 90L/S,  He 90L/S  H2 778L/S

前級泵型號：DIVAC 300

抽速：3m3/h

接口類型：DN63 ISO-K

電源：220V 50/60hz

環境溫度：5-32℃