隨著電力電子的發展和第三代半導體應用的深入，DBC（直接覆銅）陶瓷基板由于結合可靠性、覆銅厚度局限等問題已越發不能滿足高可靠性應用領域對陶瓷基板的要求，可靠性更高的AMB（活性金屬釬焊覆銅）陶瓷基板受到越來越多的關注。相比于DBC技術，AMB是利用釬料中含有的少量活性元素Ti、Zr與陶瓷反應生成能被液態釬料潤濕的反應層，從而實現陶瓷與金屬接合的一種方法。不僅具有更高的熱導率、更好的銅層結合力，而且還有熱阻更小、可靠性更高等優勢，更適合制備在電動汽車、動力機車用IGBT模塊封裝用陶瓷覆銅基板。AMB主要工藝流程為在無氧銅片和陶瓷板間放置印刷AgCuTi焊膏，然后置于800~900℃的高真空環境中進行釬焊。 

AMB陶瓷基板

以Ti為活性元素的AgCuTi活性釬料焊膏得到了廣泛的研究，它是由釬料粉末和粘結劑組成的AgCuTi活性焊膏，無須加熱可以有效避免Ti氧化。一般是將金屬粉通過球磨或其他方式混合，然后釬焊，但是粉體分散的細度和均勻性是一大難題。我們采用TRILOS TR50M三輥機，來分散AgCuTi活性焊膏。

材料：AgCuTi合金粉末（初始顆粒20μm左右）+松油醇

加工設備： TRILOS TR50M型三輥機 氧化鋯輥筒+合金鋼刮刀

TRILOS TR50M三輥機為基本型三輥機。特別針對處理量相對較少，精度要求相對較低的客戶而進行開發的超小型研磨設備。結構設計簡潔，尺寸較小，體積輕便，采用無極調速控制流量，機械方式調節間距。

TRILOS TR50M三輥機分散AgCuTi活性焊膏

分散研磨工藝如下：

三輥機運行中無漏料、出料均勻，輥子平行度較好，使用結束后無跑位。經刮板細度計測試，物料的最終細度為13μm，達到了客戶的要求。

TRILOS公司介紹

TRILOS（泰洛思）是精密設備制造商，視客戶滿意為終極目標，力求將的工藝技術結合客戶的需求，設計出貼近客戶需求的優質產品。

泰洛思正在積極開拓市場，目前產品已經在美國、中國、歐洲、韓國、日本和臺灣等地區獲得許多忠實的用戶，我們致力于把優質的產品分享給更多使用者。

TRILOS三輥機優點：

① TRILOS三輥機采用一次循環，有可能完全實現物質的均質化與分散，減少顆粒尺寸，打破團聚粒子。其結果是均質化的漿料，可為物料的進一步加工打下基礎。

② 可用觸摸屏實現每個輥間距離調節，確保輥子平行度。彈性張緊的刮刀插口確保刮刀恒壓，在操作過程中不需要重新調節。

③ 不同材質的輥子都可以使用，輥子及刮刀材質的選擇-從不銹鋼到氧化鋁，碳化硅及氧化鋯-滿足各種不同需要。

④ 三輥機上的安全裝置確保操作人員的安全，機器可簡易而及其快速的清洗。

      ⑤ TRILOS 的物聯網、智能化三輥機解決方案，解決了客戶在使用中遇到的數據無法量化分析，數據丟失，設備互相獨立，無法聯網進行管理和控制等等方面的問題。讓客戶可以對設備進行數據分析，對員工進行權限分配和管理，設備運行過程保持全程記錄和備份，利于加工過程參數的研究和設計開發。此外，智能物聯平臺還可以接入混料機、三輥機、上料機、均質機等設備平臺，同時可以接入在線粘度計、在線粒度儀、在線近紅外分析儀等儀器進行實時監控。

上海人和科學儀器有限公司

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