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大塚電子(蘇州)有限公司
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RETS-100nx相位差(光學延遲量)測量儀

大塚電子(蘇州)有限公司  2023-04-04  點擊1299次

RETS-100nx相位差測量儀是OLED圓偏光片、疊層補償膜、IPS液晶用帶補償偏光片等各種薄膜的光學延遲量測量系統(tǒng)。實現(xiàn)非破壞、疊層無需分離的原位測量。RETS-100nx可以高速、高精度測量60,000nm的極高相位差(延遲量)。


簡潔、人性化的測量軟件,極大地縮短測量與處理時間。此外,軸角度補正功能可以消除因放置而導致的誤差。您可以輕松獲得高精度測量結果。


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 特 點 


● 采用本公司光譜儀實現(xiàn)高精度測量

1) 高精度

   多波長測量實現(xiàn)高精度


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   說明1: 對于光學原理上難以測量的λ/4, λ/2處的延遲量,通過附近數(shù)據(jù)擬合求得。

   說明2: 測量結果不受膜厚干涉波形的影響。


   [高精度的關鍵]

   · 搭載本公司高精度MCPD光譜儀。

   · 獲取約500個波長的透過率,是其他公司產(chǎn)品的約50倍


2) 0~60,000nm相位差(延遲量)的寬測量范圍


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可以在相同強度下計算其他波長數(shù)據(jù)


3) 測量相位差(延遲量)的波長色散


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也可以測量逆向分散樣品


● 測量范圍涵蓋了超高相位差(光學延遲量)——可以高速、高精度測量補償膜


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● 多層薄膜測量——可以測量各種薄膜的層疊狀態(tài),無需分離或破壞樣品


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● 軸角補正功能——樣品未對準也可測量,且重復性好

   ■ 重復放置樣品 10 次,比較有無校正功能的測量結果

   [樣品:延遲膜 R85]


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● 簡潔、人性化的測量軟件——大幅縮短測量和處理時間


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 測 量 


測量項目

薄膜, 光學材料

延遲量(波長色散), 慢軸, Rth*, 三次元折射率(nx ny nz)* 等

偏光片

吸收軸, 偏振度(偏光度), 消光比, 各種色度, 各種透過率 等

液晶盒
液晶盒厚(Cell gap), 預傾角*, 扭曲角, 配向角 等


 *需要自動傾斜樣品臺



 規(guī)  


相位差(延遲量)測量范圍
0 ~ 60,000nm
相位差(延遲量)的重復精度3σ≦0.08nm(晶體波片 約600nm)
CellGap測量范圍0 ~ 600μm(Δn=0.1)
CellGap的重復性3σ≦0.005μm(液晶盒 約3μm, Δn=0.1)
軸的重復精度3σ≦0.08°(晶體波片 約600nm)
測量波長400 ~ 800nm(提供其他波長可選)
檢測器光譜儀
測量光斑φ7㎜(標準規(guī)格)
光源100W 鹵素燈
樣品臺(標準)100㎜ x 100㎜(固定樣品臺)
裝置尺寸480(W) x 520(D) x 765(H)mm
選配

· 超高相位差(延遲量)測量

· 多層測量

· 軸角補正功能

· 自動 XY 樣品臺

· 自動傾斜樣品臺



 光學系 


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● 固定樣品臺  

● 自動 XY 樣品臺  

● 自動傾斜樣品臺



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