全新發布的 AFM-in-Phenom XL 結合了掃描電子顯微鏡 (SEM) 和原子力顯微鏡 (AFM) 的優勢，實現了在同一系統中對樣品進行多模態（SEM 及 AFM 形貌、元素、機械、電學、磁學）關聯分析。

· 設備掃描范圍（開環）：100μm×100μm×20μm

· 設備掃描范圍（閉環）：80μm×80μm×16μm

· 分辨率：0.2nm×0.2nm×0.04nm

· **樣品尺寸：21mm×11mm×8mm

· **樣品重量：100g

· 成像模式：表面形貌和粗糙度、CAFM、KPFM、FMM、PFM、EFM、F-z curves、I-V curves等