華為Mate 60 Pro，讓”中國芯“閃耀世界

華為閃電發(fā)布最新手機Mate 60 Pro引發(fā)了全球關(guān)注，盡管華為官方并未太多談及該手機各方面的技術(shù)參數(shù)，但根據(jù)不少數(shù)碼愛好者的實際測算，其網(wǎng)速已經(jīng)達(dá)到5G標(biāo)準(zhǔn)，援引全球著名的半導(dǎo)體行業(yè)觀察機構(gòu)TechInsights的拆解報告，華為Mate60 Pro搭載了新型麒麟9000s芯片，并采用了先進(jìn)的7納米。這代表了TechInsights記錄以來，中國設(shè)計和制造的里程碑。

（圖片來自華為官網(wǎng)）

對于國內(nèi)消費者來說，這次或許是從0到1的進(jìn)步，解決了5G智能手機先進(jìn)的5G芯片問題，我們當(dāng)然是為之振奮的。但必須承認(rèn)距離最先進(jìn)技術(shù)尚有很大差距。從7納米到5納米再到4納米，不是一個線性的時間問題，復(fù)雜度會越來越高。道阻且長，行則將至。

這次華為芯片突破的背后，是中國芯片產(chǎn)業(yè)鏈共同努力、進(jìn)步的結(jié)果。半導(dǎo)體作為一個流程非常長的產(chǎn)業(yè)鏈，涉及芯片設(shè)計、封裝測試、設(shè)備、材料等多個方面。在本文中，我們會聚焦于半導(dǎo)體材料生產(chǎn)制備過程中必不可少但是又很容易被忽略的一個設(shè)備——烘箱。

氣氛烘箱 —— 先進(jìn)半導(dǎo)體材料更好的選擇

烘箱在半導(dǎo)體的工藝當(dāng)中應(yīng)用廣泛，主要包括有：

清洗：在半導(dǎo)體器件制造的過程中，需要將襯底和器件表面的雜質(zhì)去除，以確保器件的性能和可靠性。在清洗后，需要將襯底和器件表面放入烘箱中，以去除水分和其他殘留物質(zhì)。

烘干：晶圓或者芯片表面需要使用各種化學(xué)涂層材料，例如抗反射涂層、光刻膠等。這些化學(xué)涂層需要在烘箱中進(jìn)行烘干，以將涂層中的溶劑去除，以確保涂層的質(zhì)量。

焙燒和退火：在半導(dǎo)體器件制造的過程中，需要進(jìn)行焙燒和退火步驟，以促進(jìn)晶體生長，調(diào)整晶體結(jié)構(gòu)，從而有助于器件的形成優(yōu)化器件結(jié)構(gòu)。在焙燒和退火過程中，需要將襯底和器件放入烘箱中，以進(jìn)行高溫處理。

但相比于其它半導(dǎo)體設(shè)備，烘箱很容易被大家忽略。因為擔(dān)心氧化問題，所以很多廠家選擇真空烘箱，真空烘箱必然需要真空泵，就帶來了成本的增加。另外，晶圓或者器件在加熱過程中表面的溶劑涂層或者膠體等會揮發(fā)，從而污染真空泵，進(jìn)而提高了維修或者更換真空泵的時間和經(jīng)濟(jì)成本。

對于晶圓、芯片或者其它半導(dǎo)體器件，惰性氣氛烘箱其實是更佳的一個解決方案，不僅能降低成本，而且可以及時帶出揮發(fā)性物質(zhì)，保證了腔體內(nèi)的潔凈。

卡博萊特蓋羅的惰性氣氛烘箱尤其適用于電子半導(dǎo)體行業(yè)，頂級的材料和獨特的設(shè)計，可實現(xiàn)氧氣含量低于50ppm，絕佳的溫度均勻性保證了器件在熱處理過程中的穩(wěn)定性

HTMA 6/220配有nanodac控制器，自動氣體控制和氧含量監(jiān)測選項

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