中國粉體網訊 5月28日,無錫光未半導體材料有限公司超高純石英砂項目在中歐產業創新區正式量產。
來源:梅里聚焦
無錫光未公司計劃總投資2億元,建成3條超高純石英砂產線,2024年7月啟動建設,2025年5月首條產線建成并投產,預計年產量700噸、年銷售3億元。項目整體完成后,年產量增至2700噸,年銷售超9億元。
合成石英砂具有高硬度、高耐磨性和化學穩定性等良好的物理和化學性質,其物理性質與天然石英砂相似,具有良好的耐高溫性能、耐磨損性能、耐腐蝕性能、耐壓強度高、絕緣性能強等優點。合成石英砂的生產不依賴于天然石英礦產,可以通過化學合成法制備,其技術路線包括氣相合成法、化學沉淀法、溶膠-凝膠法、四氯化硅液相水解法等,因為純度更高、光學性能更良等特性,除了在高端光學領域得到廣泛應用以外,也符合半導體制程對石英制品高純、無污染、耐高溫的要求。
據國家知識產權局公布的無錫光未半導體材料有限公司一種超高純度7N級合成石英砂制備工藝專利顯示,該公司合成石英砂的制備工藝流程為如下:
溶液制備與反應:在一體化節能處理設備中加入乙醇和四乙氧基硅烷,將四乙氧基硅烷與乙醇混合,通過一體化節能制備裝置將其攪拌均勻;在攪拌過程中,緩慢加入水和鹽酸進行水解和縮合反應,并生成硅酸鹽;隨著水解縮合反應的進行,硅酸鹽開始凝膠化,形成溶膠,隨著反應的進行,溶液的黏度逐漸增加,最終形成凝膠網絡結構;
熱處理:凝膠在完成凝膠化后,通過一體化節能制備裝置對凝膠進行干燥處理,去除凝膠中的水分;隨后對干燥后的凝膠進行高溫煅燒,在煅燒過程中,二氧化硅凝膠會轉化為致密的二氧化硅材料,制得高純度的二氧化硅;
純化處理:通過一體化節能制備裝置對二氧化硅進行酸洗、水洗、中和以及干燥處理;
高溫燒結:在真空環境下對二氧化硅進行高溫燒結,進一步提高石英砂的純度,燒結后的二氧化硅通過粉碎和篩分工藝來控制顆粒的粒度和形態,得到超高純度7N級的合成石英砂。
來源:無錫日報
據了解,高純合成石英砂長期被日本三菱化學壟斷,雖然國內多家企業早前開始涉足合成石英砂領域,積極布局并拓展相關技術,但受限于合成成本、設備材質、生產周期、產品穩定性等因素,國內合成石英砂多處于研發、小試、中試階段,未見大批量規模化生產。
無錫光未公司積極引進國際先進技術,高薪聘請國外專家團隊,成功掌握超高純合成工藝與雜質控制工藝,此次公司超高純石英砂量產成功實現從實驗室規模到工業規模的跨越,產品純度達到7N級。
參考來源:梅里聚焦、無錫日報、無錫市數據局
(中國粉體網編輯整理/初末)
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