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超納金剛石光罩精拋液材料與算法研發產業化


來源:中國粉體網   山林

[導讀]  超納金剛石光罩精拋液材料與算法研發產業化

中國粉體網訊


超納材料是尺寸小于10nm的納米材料的下一代革命性材料技術,具有反常于納米材料的超小尺寸效應,在半導體精密拋光、光罩缺陷修復、光學精密加工、量子計算、生物醫藥、航空航天航海、人工智能等方面有廠泛的應用前景,在化學、物理、材料、生物、量子等領域具有研究價值和應用價值。


蘇州極鉆納米科技有限責任公司創立于2024年4月,作為超納材料高新技術的先鋒,公司以半導體產品與車規新能源材料雙輪驅動,構建起以研發為主導、生產、銷售、進出口為一體的產學研結合新星企業,專注于硬科技、卡脖子、國產替代的戰略布局。


在拋光液領域,公司已取得顯著成果。拋光液是化學機械拋光的重要組成部分,在拋光過程中,拋光液中的氧化劑、表面活性劑等與工件發生化學反應,使工件表面軟化;拋光液中的磨粒會對工件的軟化層進行機械磨削,使未反應的材料表面暴露出來,進而確保了材料表面的化學反應進行下去。公司現有產品包括超納金剛石精拋液、金剛石量子點基拋光材料和金剛石量子點基混合拋光材料,規劃產品有超納磁流變液、微納金剛石砂輪、光罩保護膜、金剛石保護膜、金剛石刀具、金剛石單光子器件、雙極板、核電池等相關產品與服務。


公司聚焦半導體制造關鍵耗材國產化,通過技術創新和產業鏈國產化,提供高精度、低成本的半導體化學物理拋光耗材,滿足高端市場需求。極鉆納米致力于研發拋光顆粒粒徑控制在2-5nm之間(分布誤差±0.5nm),達到行業最小尺寸極限,完成拋光精度表面粗糙度達0.1nm(原子級),面型精度優于40nm,缺陷40nm小于10顆。公司通過宏微觀算法模型優化CMP工藝參數,提升拋光效率并降低生產成本,預計在三年內申請發明專利5項,國際發明2項,融資3000萬元人民幣,用于原材料、生產設備、檢驗設備投資。將團隊擴充至50人,建設500平無塵生產車間。相關項目預計在2025年實現500萬元銷售收入,2026年實現1000萬的銷售收入,2027年實現2000萬的銷售收入。


研磨拋光技術在集成電路芯片的制作中具有重要作用,針對高端研磨拋光相關的技術、材料、設備、市場等方面的問題,中國粉體網將于2025年4月16日河南鄭州舉辦2025第二屆高端研磨拋光材料技術大會。屆時,蘇州極鉆納米科技有限公司董事長劉添彪將作題為《超納金剛石光罩精拋液材料與算法研發產業化》的報告。


專家簡介:



劉添彪,男,31歲,擁有3年半導體材料和設備研發經驗,專注于掩膜版新材料研發、工藝優化及項目管理。熟悉i-line、KrF、ArF、EUV掩膜版技術,具備超精細研磨拋光、離子束拋光及飛秒激光加工等先進技術的實踐經驗。在高純靶材國產化、光刻膠開發等“卡脖子”技術領域取得突破性成果,撰寫多篇專利,并與國內龍頭企業合作推動技術落地。具備扎實的材料科學背景,熟練掌握多種材料表征和測試技術,如高壓原位拉曼光譜、同步輻射等。責任心強,創新能力突出,善于團隊協作與問題解決,致力于通過技術創新推動半導體材料國產化進程。


參考來源:

[1]中國粉體網

[2]賀祥等,混合磨粒 CMP 拋光液的制備及拋光效果研究


(中國粉體網編輯整理/山林)

注:圖片非商業用途,存在侵權告知刪除!


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