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半導體用中高端石英材料國產化替代的進展


來源:中國粉體網   平安

[導讀]  長飛石英肖暢,將出席半導體用石英材料大會

中國粉體網訊  半導體制程要求高純、無污染、耐高溫的石英玻璃制品,如石英法蘭、石英舟架、石英擴散管、石英鐘罩等;合成石英玻璃具有優良的光學性能,并可以根據規格大小制成不同大小的平板,經金屬涂敷、腐蝕刻錄后制成光掩模基板,用于印刷液晶面板中的電子線路板。

石英玻璃的使用貫穿了半導體領域相關產品制造的關鍵過程:1)石英錠、石英筒是半導體制程擴散、氧化、沉積、蝕刻工藝中所用的石英法蘭、石英擴散管、石英鐘罩的材料;2)合成石英錠是平板顯示技術中關鍵部件光掩模基板的主要基材。



長飛石英掩模基板


目前國內企業生產的石英玻璃材料大部分屬于中低端產品,主要集中在光伏行業用石英玻璃材料,生產技術門檻較低,廠商較多,產品競爭激烈。國內半導體集成電路、光纖行業用石英玻璃材料對材料質量等級要求較高,可供選擇的供應商較少。

從整個行業來看,石英玻璃材料高端產品大部分仍需高價進口,而國外企業在半導體生產用石英爐管、大尺寸光學鏡頭、液晶顯示用合成石英玻璃、光纖套管和光纖預制棒、特種石英玻璃及高附加值石英玻璃等產品方面的技術水平已相當成熟。為提高競爭能力,國內行業骨干企業正在加快技術創新的步伐,采用新材料、新工藝、優化性能參數等辦法縮小與國外競爭對手先進水平的差距。

成立于2022年12月的長飛石英技術(武漢)有限公司,專注于高端石英材料產品研發、生產、檢測、銷售與服務。長飛石英公司自主掌握多種化學氣相沉積、國際主流的合成石英制備工藝及半導體用電熔等天然石英熔制工藝,在產品的物理化學性能、光學性能、幾何精度與產品一致性等方面,高純度、無氣泡、高光學均勻性等特性均具備優異的表現水平,可充分滿足光學、光通信和半導體行業對高端石英材料在性能與質量方面的嚴苛需求。



長飛石英米級合成石英


2025年4月23-24日,由中國粉體網、中粉會展主辦的“2025全國半導體行業用高純石英材料產業發展大會”將在江蘇南京召開,屆時來自長飛石英技術(武漢)有限公司的銷售副總監肖暢,將做題為《各類中高端石英材料在半導體制造各工藝環節的應用與提升》的報告,報告將重點介紹各類石英材料在不同工藝制程中的應用特點與優化演進,以及長飛石英公司相應的石英材料產品研發與產業化進展,包含半導體光學、光掩模及石英部件等應用對于中高端石英材料的應用與要求,及半導體用中高端石英材料國產化替代的進展。




肖暢先生多年從事合成石英與天然石英在半導體與光學市場的市場推廣與銷售工作;2004年進入光通信行業,先后從事國內外光通信網絡的市場與銷售工作;2019年加入長飛集團,重點從事各類石英材料在各個應用領域的市場開發與銷售工作;當前重點深耕石英材料在半導體光學、掩模基板、半導體石英部件、激光、精密光學、航空航天等多個市場;熟悉各類應用對于石英材料的不同技術需求與市場趨勢。

參考來源:中國半導體用石英材料市場研究分析報告(2024~2027),粉體大數據研究

(中國粉體網編輯整理/平安)

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作者:平安

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