中國粉體網訊 11月14日，珠海奕源半導體材料產業基地項目開工儀式在珠海金灣區舉行。
項目總投資約100億元，主要生產具有全球領先工藝技術水平的合成石英部件、碳化硅功率模組載板等，項目整體規劃面積約267畝，計劃分兩期建成投產，一期預計于2026年2月投產，將打造具有全球競爭力的半導體材料產業基地，推動廣東半導體產業高質量發展。
北京奕斯偉科技集團：
100億打造半導體材料產業基地
北京奕斯偉科技集團有限公司是一家集成電路領域產品和服務提供商，核心業務包括芯片與方案、硅材料、生態鏈開發等板塊。其中，從事芯片與方案業務的奕斯偉計算公司是一家以RISC-V為基礎的新一代計算架構芯片與方案提供商；從事硅材料業務的奕斯偉材料公司是一家12英寸電子級硅單晶拋光片和外延片的提供商，產品廣泛應用于電子通訊、新能源汽車、人工智能等領域所需要的存儲芯片、邏輯芯片、圖像傳感器、顯示驅動芯片及功率器件等；生態鏈開發業務致力于集成電路產業鏈上下游材料、部件、設備等細分領域及關鍵環節的項目孵化與開發。
來源：北京奕斯偉科技
半導體產業是數字經濟人工智能產業發展不可或缺的基礎產業，其中上游材料更是我國產業鏈自主創新的核心環節。此次開工的奕源半導體項目由奕斯偉集團生態鏈開發業務板塊孵化、華發集團戰略領投，是雙方在金灣區打造的集研發、生產、銷售于一體的半導體材料產業基地，在半導體產業鏈上游關鍵環節的重要布局，也是珠海2024年首個百億級招商項目。
半導體用合成石英部件
石英部件作為集成電路、光伏等高端制造工藝中廣泛應用的關鍵零部件，對半導體等下游產業發展具有重要意義。在集成電路芯片制造中，坩堝、爐管、舟架、鐘罩等石英制品是難以替代的關鍵部件，廣泛用于半導體晶圓制造的擴散、氧化、光刻、刻蝕、清洗等主要流程。所以，石英部件的質量水平對于集成電路生產線穩定生產、保證產品合格率具有重要作用。半導體用石英部件一般可以分為高溫區器件和低溫區器件，它們分別應用于擴散、氧化等高溫工藝和刻蝕、封裝、光刻、清洗等低溫工藝。
先進制程的升級，對各類石英部件如清洗槽、刻蝕環、擴散管等提出了更高的純度要求，而合成石英部件具有能滿足先進制程需求，有效提升良品率等優勢，另外，可以通過各類合成工藝，提升材料在刻蝕、光學等方面的使用壽命，因此在半導體市場，天然高純石英正向合成石英應用演進。
據珠海奕源科技有限公司介紹，奕源項目生產的合成石英部件相比于天然石英部件，具備純度高、耐久性強、穩定性好、投射性強等優勢。
碳化硅功率模組載板
碳化硅功率模組載板是碳化硅模組封裝的核心組件，是解決碳化硅高功率模塊散熱和提升可靠性的關鍵材料，奕源項目采用自有E-AMB專利技術，產品結合強度更高、導熱率更好、可靠性更強，主要面向高端應用市場。
據了解，珠海奕源半導體材料產業基地項目落地后，不僅將與珠海現有半導體產業形成聯動，提升珠海產業競爭力，也有望成為全國乃至全球半導體材料領域的重要力量。
參考來源：
珠海金灣、羊城派、北京奕斯偉科技官網等
石英部件在半導體領域應用及市場概覽
（中國粉體網編輯整理/初末）
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