中國粉體網 10月29日，湖北政務服務網公布湖北菲利華石英玻璃股份有限公司超低膨脹石英玻璃研發及生產項目備案申報。
湖北菲利華石英玻璃股份有限公司超低膨脹石英玻璃研發及生產項目位于湖北省荊州經濟技術開發區。據備案信息顯示，該項目利用現有廠房和設備，對爐膛結構、升降設備控制系統、尾氣系統等進行智能化升級改造；新增氣柜、料柜、蒸發器、純化設備及相關檢測裝置，面向極紫外（EUV）光刻機對石英玻璃材料的需求進行超低膨脹石英玻璃的研制，建設1條中試生產線。
據中國粉體網了解，相較于其他低膨脹石英玻璃，SiO2-TiO2石英玻璃的熱膨脹系數更低，在一定溫度范圍內甚至可以做到零膨脹或負膨脹，因此摻鈦石英玻璃又被稱為超低膨脹石英玻璃。低膨脹石英玻璃的制備方法主要有化學氣相沉淀法、間接合成法和溶膠-凝膠法等，具有極低的熱膨脹系數，是半導體光刻設備用光學元件、天文望遠鏡反射鏡、原子鐘腔體等高新技術領域的關鍵材料。
今年3月，國家知識產權局公布了名為“一種低膨脹系數石英玻璃錠的生產方法及生產裝置”的專利，申請人為湖北菲利華石英玻璃股份有限公司。
該發明涉及一種低膨脹系數石英玻璃錠的生產方法及生產裝置，屬低膨脹系數石英玻璃生產技術領域。該發明以濃鹽酸為溶劑、以SiCl4、TiCl4為溶質制備成混合原料溶液；由于潛在的溶劑化作用，使硅原子與摻雜原子以離子狀態均勻分散于混合原料溶液內。由此解決了現有制備工藝難以精確控制鈦含量，并在生產過程中不能保持其一致性所導致的石英塊中摻雜元素分布上的波動，加劇石英材料性能不穩定性的問題。該發明其摻雜料波動范圍可縮小67%；熱膨脹系數波動范圍減小31%；對制備低膨脹系數石英玻璃錠具有積極的意義。
湖北菲利華石英玻璃股份有限公司是我國石英玻璃龍頭企業，公司主要從事高性能石英玻璃、石英纖維及復合材料的研發生產，主要服務于半導體、光通訊、光伏太陽能、高端光學及航空航天等高新技術領域。據菲利華2024年半年報顯示，公司開發出的超低膨脹系數石英玻璃，實現了零膨點溫度區域可控，為原子鐘腔體、空間探測、極紫外光刻光學系統提供了材料支撐。
參考來源：
[1]張寒等.超低膨脹合成石英玻璃關鍵制造工藝研究
[2]湖北政務服務網
[3]菲利華官網
（中國粉體網編輯整理/九思）
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