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雜質元素 —— 高純石英產品質量的“隱形裁判”


來源:中國粉體網   九思

[導讀]  石英中主要的雜質元素有 Al、Fe、Cr、Cu、Ca、Mg、Li、Na、K、Ti、P、B、H、O、N等

中國粉體網訊  石英中主要的雜質元素有 Al、Fe、Cr、Cu、Ca、Mg、Li、Na、K、Ti、P、B、H、O、N等。按照元素種類可分為堿金屬、過渡金屬、非金屬、Al,B及P等元素,其含量是高純石英原料的關鍵指標。不過,不同的雜質元素對高純石英產品質量的影響不同,但總的趨勢是越低越好。


堿金屬元素


堿金屬元素Li、K、Na能降低石英玻璃的使用溫度和機械強度,在高溫下對石英玻璃的析晶起催化作用,導致石英玻璃出現失透、高溫變形等現象;降低堿金屬元素的含量有利于提高高純石英坩堝的軟化點,增強石英坩堝的抗變形性,提高單晶的成品率。


IOTA標準砂要求堿金屬元素總和低于2.4x10-6,用于工藝管、硅片處理、石英塊、提單晶硅用的半導體坩堝所需高純石英要求其總和<1.4x10-6,CZ型坩堝要求其總和<0.5x10-6,而用于12英寸或更大尺寸硅片所需超高純石英砂要求其總和<0.08x10-6。


過渡金屬元素


過渡金屬元素 Cr、Cu、Fe可以使石英玻璃產生色斑或引起石英玻璃的高溫變色,影響光透過率,降低儀器的可靠性和穩定性能,在光纖應用中,會引起微觀不均勻、增加光纖損耗,甚至導致信號失真,但在半導體應用中,產品中微小含量的過渡金屬元素可以促進結晶生長。


Al、P、B


Al進入石英晶格,會產生較強的化學鍵,影響石英制品的導電性,同時,增強了石英玻璃的析晶作用,降低了使用壽命。少量的AI不會影響到高純石英產品的質量,IOTA標準砂要求Al元素含量(12~18)x10-6,但光導纖維中微量的Al便會降低石英玻璃的光傳導。


P元素的存在會嚴重影響單晶硅的拉制,故高純石英坩堝對P要求高,要求P元素含量<0.04x10-6


硼元素(B)在石英砂中的含量與石英礦的地質有直接的關系,B離子可以進入硅酸鹽分子的骨架,產生很強的化學鍵,而不是僅在含硼礦物中。B元素的超標對單晶硅的拉制有致命的影響,1x10-6的B就可以使單晶硅的電阻大幅度降低。高純石英坩堝對B要求高,要求B元素含量<0.04×10-6



非金屬元素


石英砂中的非金屬元素主要由氧(O)、氫(H)、氮(N)等元素。氧的主體是SiO2,其他則以H2O、N2、O2的形式存在。SiO2中的Si-O鍵斷裂會產生缺陷,這些缺陷會與OH或者H結合形成SiH或者SiOH基團,羥基是一種雜質缺陷,同時又是一種網絡結構缺陷。


羥基對石英及石英玻璃的性能都有很大影響,首先,羥基的存在降低了石英的化學穩定性。其次,羥基使石英結構的疏松度增加,密度減小,結合力下降,聲音在石英玻璃中的傳播速度也將減小。羥基還能降低石英的粘度,低溫時羥基的存在會使粘度降低得更明顯。此外,羥基還影響電子產品的純度,降低石英的軟化溫度,促進析出晶體,降低石英的折射率,影響石英玻璃的光學均勻性。


其他


用作半導體和電光源產業的石英玻璃,鋁、鈉、鉀、鈣、鎂和重金屬元素含量要盡可能低,否則就會影響到這些材料的耐高溫和高絕緣性能。


而用在精密光學中的石英,則要求鐵、鉻、鎳、鈦等重金屬元素含量不能過高,否則就會影響透光性。


參考資料

張海啟等:高純石英中雜質特征及深度化學提純技術研究進展,中國地質科學院

鄭州礦產綜合利用研究所徐雯雯:高純石英粉制備工藝研究,中國海洋大學

中國粉體網:不同雜質元素對高純石英產品質量有何影響?


(中國粉體網編輯整理/九思) 

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