中國粉體網(wǎng)訊 高純石英制品因其獨(dú)特的高純度、耐高溫、低熱膨脹性、化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)等優(yōu)良性能，被廣泛應(yīng)用于電光源、光纖、光伏、半導(dǎo)體、航空航天、光學(xué)等領(lǐng)域。其中，半導(dǎo)體制造是石英制品最主要的下游應(yīng)用領(lǐng)域。高純度石英制品作為治具和消耗品，在日益精細(xì)化和高純度化的半導(dǎo)體加工中起著極為重要的作用。
作為半導(dǎo)體制造過程中關(guān)鍵設(shè)備中的關(guān)鍵消耗部件，石英制品被廣泛應(yīng)用于150mm到300mm半導(dǎo)體晶圓制造中的外延、擴(kuò)散、沉積、RTP、濕法清洗等工藝中。據(jù)《中國半導(dǎo)體用石英材料市場(chǎng)研究分析報(bào)告（2024~2027）》介紹，在半導(dǎo)體集成電路與光伏用硅片制造中，石英坩堝、石英管、石英舟、石英支架、石英法蘭、石英環(huán)等各種配件是難以替代的關(guān)鍵材料和制品，涉及半導(dǎo)體晶圓制造的大部分流程，對(duì)半導(dǎo)體晶圓廠來講，石英制品參與生產(chǎn)工序長，影響范圍廣，且石英制品必須要幾乎完整參與其產(chǎn)品的生產(chǎn)過程才能確定是否通過驗(yàn)收，石英制品一旦出現(xiàn)質(zhì)量問題，直接影響其產(chǎn)品的合格率，故石英制品對(duì)于下游企業(yè)至關(guān)重要。
隨著國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提速發(fā)展，用于半導(dǎo)體加工用的石英產(chǎn)品市場(chǎng)被越來越多的人們看好和關(guān)注，石英制造的企業(yè)也增加了很多，但是高品質(zhì)的石英制造商數(shù)量在國內(nèi)屈指可數(shù)，產(chǎn)能主要分布在北京、沈陽、杭州、上海和湖州地區(qū)。目前國內(nèi)石英廠商總體技術(shù)水平不高，多數(shù)企業(yè)沒有形成較強(qiáng)的品牌以及技術(shù)優(yōu)勢(shì)，企業(yè)必須努力提高自身的研發(fā)能力和生產(chǎn)技術(shù)水平，同時(shí)積極跟蹤市場(chǎng)變化，調(diào)整企業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營策略，才能夠保證企業(yè)實(shí)現(xiàn)持續(xù)良性發(fā)展。
由日本磁性技術(shù)控股有限公司于1992年在華設(shè)立的企業(yè)——FerroTec（中國），其石英制品服務(wù)于全球5大國際知名半導(dǎo)體設(shè)備制造商，且相關(guān)產(chǎn)品據(jù)其官網(wǎng)宣傳在中國市場(chǎng)的占有率高達(dá)40%。這樣一家全球石英制品領(lǐng)導(dǎo)者卻長期以來不為大多數(shù)人所了解。據(jù)悉，該公司專業(yè)從事半導(dǎo)體硅片、熱電半導(dǎo)體致冷材料與器件、半導(dǎo)體石英制品、精密陶瓷制品、半導(dǎo)體真空傳動(dòng)裝置及大型腔體、電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)、精密洗凈、覆銅陶瓷基板（DCB、AMB、DPC）、半導(dǎo)體裝備、單晶爐等產(chǎn)品的研發(fā)、制造和銷售。
據(jù)悉，F(xiàn)erroTec（中國）在精密石英這一領(lǐng)域擁有精密加工中心、激光切割、水切割、LAP/POLISH等各類型先進(jìn)生產(chǎn)設(shè)備，擁有10000級(jí)凈空化學(xué)洗凈及100級(jí)純水洗凈室。歷經(jīng)20余年的研發(fā)生產(chǎn)，F(xiàn)errotec可批量生產(chǎn)12"、8"以及8"以下半導(dǎo)體裝置用石英制品，并具備下一代18"石英產(chǎn)品的研發(fā)能力。
同時(shí)，F(xiàn)erroTec（中國）能夠根據(jù)客戶要求選用合適的原材料進(jìn)行加工生產(chǎn)。主要進(jìn)口材料規(guī)格有：邁圖科技生產(chǎn)的124、144、214、224（弱堿性）、244(低鋁成分)、賀利氏HSQ330、HSQ300、TSC-3；日本TOSOH OP-1、OP-3；德國QSIL PI、PN等材料。
FerroTec（中國）高精度的石英制品不僅為300nm半導(dǎo)體芯片制程提供可靠保障，也能滿足太陽能光伏行業(yè)在擴(kuò)散制程中對(duì)低鐵、低銅的要求，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體擴(kuò)散刻蝕工藝、光纖預(yù)制棒加工、LED照明制造及太陽能光伏等工業(yè)領(lǐng)域。
Ferrotec（中國）精密石英產(chǎn)品分類
Ferrotec（中國）為滿足客戶需求，可生產(chǎn)多種多樣的石英產(chǎn)品，依托精密的加工技術(shù)、焊接技術(shù)、表面處理（洗凈）技術(shù)三大核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)以及具有全球化視野的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)支持，為客戶量身打造高品質(zhì)產(chǎn)品。
石英管類
主要包括反應(yīng)管、內(nèi)管、外管、爐管、噴射管等產(chǎn)品；主要應(yīng)用于半導(dǎo)體擴(kuò)散、氧化、成膜、熱處理等硅片表面處理工藝設(shè)備，對(duì)裝配尺寸、潔凈度、密封度有較高的要求。
石英舟類
分為5寸、6寸、8寸、12寸各類規(guī)格舟，應(yīng)用于各類表面處理工藝設(shè)備、濕法洗凈工藝中，舟類產(chǎn)品直接裝載硅片，并大多應(yīng)用于自動(dòng)上下片工藝中，所以石英舟的尺寸精度和潔凈度非常重要。
石英機(jī)加工類
包括各種環(huán)、圓盤等產(chǎn)品，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片刻蝕、沉積等工藝，對(duì)尺寸精度、潔凈度、外觀狀態(tài)等方面的要非常高，部分產(chǎn)品不允許返修，必須一次成型，所以對(duì)加工能力要求高。
石英治具類
主要有裝載盤、底座、封蓋等產(chǎn)品；應(yīng)用于各種半導(dǎo)體處理工藝的輔助設(shè)備中，其精度視應(yīng)用的工藝而定。
石英洗凈類
包括石英槽、石英支架等產(chǎn)品，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體濕法洗凈工藝，精度相對(duì)不高，但對(duì)外觀、潔凈度有較高的要求。
資料來源：
[1]FerroTec（中國）官網(wǎng)
[2]中國半導(dǎo)體用石英材料市場(chǎng)研究分析報(bào)告（2024~2027）
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/平安）
注：圖片非商業(yè)用途，存在侵權(quán)告知?jiǎng)h除！
