中國粉體網訊 半導體產業幾乎關系到當今數字化時代所有與電子相關的領域，是對國民經濟極其重要的戰略性產業。我國的半導體產業仍存在嚴峻的安全問題。實現精密陶瓷零部件的國產化替代是保障我國半導體產業供應鏈安全穩定與自主可控的重要環節。
第三屆半導體行業用陶瓷材料技術研討會將于 2024年4月25-26日在蘇州舉辦。上海皓越真空設備有限公司作為參展單位邀請您共同出席。
上海皓越真空設備有限公司，簡稱“皓越科技”，創立于2009年，是一家集研發、設計、生產、銷售為一體的國家級高新技術企業；產品涵蓋先進陶瓷及復合材料設備、半導體材料設備、鋰電材料及新能源設備三大領域。
目前，公司擁有7000㎡現代化標準廠房、成套的加工設備、完善的質量管理體系，同時擁有先進的500㎡設備展廳以及超過 1500㎡的熱處理研發中心實驗室，實驗室不僅可供公司內部科研探索，同時也可供外部高校、科研所、企業等做實驗研發。
產品介紹
1、S2放電等離子燒結系統
設備簡介
SPS（Spark Plasma Sintering）放電等離子燒結系統是當今世界上最先進的燒結系統之一，是在兩電極間施加脈沖電流和軸向壓力進行粉末燒結致密化的一種新型快速燒結技術。它具有升溫速度快、燒結時間短、組織結構可控、節能環保等鮮明特點，可用來制備金屬材料、陶瓷材料、復合材料，也可用來制備納米塊體材 料、非晶塊體材料、梯度材料等。
應用領域
1.金屬：Fe、Cu、Al、Au、Ag、Ni、Cr、Mo、Sn、Ti、W、Be;
2.陶瓷氧化物：Al2O3、Mulitex ZrO2、Mg、SiO2、TiO、HfO2;
3.碳化物：SiC、B4C、TaC、WC, ZrC, VC;
4.氮化物：Si3N4、TaN、 TiN、 AIN、 ZrN、VN;
5.硼化物：TiB2、HfB2、LaB6、ZrB2、VB2;
6.氟化物:LiF、CaF2、MgF2;
7.金屬陶瓷：Si3N4+Ni、Al2O3+Ni、ZrO2+Ni、Al2O3+Ti、SUS+WC/Co、BN+Fe、WC+Co +Fe ；
8.金屬化合物：TiAl、MoSi2、Si3Zr5、NiAl、NbCo、NbAl Sm2Co17。
設備特點
由于SPS過程中施加直流脈沖電流產生放電效應而帶來的一些特有現象，有以下幾個特點：
1)可以快速升溫，快速冷卻，大幅縮短生產時間，降低生產成本（升溫速率可達200℃/min）；
2)燒結溫度低（與熱壓燒結相比，燒結溫度可進一步降低）；
3)具有獨特的凈化、活化效應（消除粉末顆粒表面吸附氣體，擊穿氧化膜），輕松實現難燒結材料、多元素材料的燒結；
4)相比于傳統燒結工藝，可以在更短的時間內得到組織性質更均勻、更致密、晶粒尺寸更小的材料；
5)采用我司專業直流脈沖電源技術，具有燒結速度快、穩定可靠，節能效果好；
6)壓力精度高：采用伺服壓力控制系統，壓力精度為 ±3‰；
7)安全性能好：采用 PLC+HMI+PID程序控制，安全可靠；
8)密封性能好：動態壓頭均采用波紋管密封，確保不漏氣。
2、P2熱壓爐
設備簡介
真空熱壓爐是在真空（或其它氣氛）條件下將材料熱壓成型的成套設備，主要采用石墨電阻式加熱，由油缸驅動的壓頭上下加壓。在高溫下，物料生坯固體顆粒的相互鍵聯，晶粒長大，空隙（氣孔）和晶界漸趨減少，通過物質的傳遞，其總體積收縮，密度增加，最后成為具有某種顯微結構的致密多晶燒結體，從而將物料壓制成形。
應用領域
適用于氧化鈮、碳化硅、碳化硼、氮化硼等陶瓷材料等石墨烯碳纖維、高溫合金金屬粉體材料的高溫加壓燒結成形及增密粉末冶金、功能陶瓷等新材料的高溫熱成型，也可用于粉末 或壓坯在低于主要組分熔點的溫度下的熱處理，目的在于通過顆粒間的冶金結合以提高其強度。
技術特點
1)采用臥式、側開門結構：裝、卸模具精度高，操作方便；
2)升溫快：升溫速率1~15℃/分鐘（≤1600℃），升溫速率1~5℃/分鐘（＞1600℃）；
3)溫度均勻性好：平均溫度均勻性為±5℃（5點測溫，恒溫區1000℃保溫1h后檢測）；
4)壓力精度高：采用液壓控制系統，壓力精度為≤±3‰；
5)采用多溫區控制：預留兩個測溫孔，以便高溫監測使用；
6)安全性能好：采用HMI+PLC+PID程序控溫，安全可靠；
7)密封性能好：動態壓頭均采用波紋管密封，確保不漏氣。
3、真空爐
設備簡介
該真空爐是用石墨/鉬/鎢/感應作發熱元件的真空爐，主要應用于陶瓷、硬質合金、復合材料等在真空或保護氣氛中高溫燒結或退火等熱處理，也可以供金屬材料在高真空條件下的高溫熱處理或貴金屬材料的除氣處理。
應用領域
如炭/炭剎車盤、炭炭板材、熱壓模具、高溫發熱體/緊固件、熱場材料石墨制品、碳紙、碳布、石墨烯、碳納米管、導熱膜等。
技術特點
1.采用臥式、側開門結構：裝卸物料，操作方便；
2.升溫快：升溫速率1~10℃/分鐘(≤1600℃)，升溫速率1~5℃/分鐘(＞1600℃)；
3.設計優化好：加熱室熱場經熱態模擬計算，具有非常高的溫度均勻性、配置的加熱元件及隔熱層采用模塊化優化設計；
4.采用多溫區控制：預留多個測溫孔，以便高溫監測使用；
5.溫度均勻性好：平均溫度均勻性為±5℃（5點測溫，恒溫區1000℃保溫1h后檢測）；
4、G2氣壓爐
設備簡介
本產品為周期作業式，加壓燒結爐系列集真空脫蠟、真空燒結、 分壓燒結、加壓燒結、氣氛控制、冷卻等功能于一體。
為了滿足不同的工藝要求，可以實現在不同壓力和溫度下導入 Ar、H2、CH4、 N2 等氣體或氣體組合。
立式裝料設計，使裝卸與維修工作更為簡便。整個工藝過程自動控制。
應用領域
在高氣壓保護氣氛條件下對陶瓷（如碳化硅、氧化鋯、氧化鋁、氮化硅等）及金屬材料（如硬質合金）等進行熱等靜壓燒結處理，同時也適用大專院校、科研單位進行中試批量生產用。適用于氮化硅陶瓷球、陶瓷刀具等材料在高壓氮氣或氬氣氣氛內進行燒結。有利于增加材料的燒結密度，提高材料的機械性能。
技術特點
1.立式設計，使裝卸與維修工作更為簡便，整個工藝過程自動控制；
2.溫度均勻性好：采用特殊的爐膽結構和加熱器布置，爐溫均勻性好；
3.脫脂效果好：采用特殊結構脫脂箱，密封效果好，脫脂完全對爐內元件無污染；
4.功能多：具備真空燒結、壓力燒結、脫脂等功能；
5.設計優化好：加熱室熱場經熱態模擬計算，具有非常高的溫度均勻性、配置的加熱元件及隔熱層采用模塊化優化設計；
6.安全性高：具有超溫超壓等故障報警，機械式自動壓力保護，動作互鎖等功能，設備安全性高；
7.設備可選擇配置脫脂系統，實現陶瓷制品的脫脂燒結一次性處理。
5、皓越科技2024年新品推出：G2GR20/P/1多功能一體爐
設備特點：此設備有著熱壓燒結、氣壓燒結、真空燒結等三大燒結工藝為一體的多功能爐（一臺設備可替代熱壓爐、氣壓爐、真空爐三臺設備）
敬請期待！
