中國粉體網(wǎng)訊 近日，由第三代產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟成員單位賽邁科先進材料股份有限公司牽頭，聯(lián)合北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、湖南三安半導體有限公司、山東大學、中國科學院半導體研究所聯(lián)合提出的《碳化硅單晶生長用等靜壓石墨》團體標準提案，經(jīng)CASAS管理委員會投票獲得通過，2024年3月4日正式立項，并分配標準編號：T/CASAS 048。
T/CASAS 048—20XX《碳化硅單晶生長用等靜壓石墨》描述了碳化硅單晶生長用等靜壓石墨的術(shù)語和定義、材料規(guī)格說明、基本要求、技術(shù)要求、檢驗規(guī)則、標識、包裝、運輸和貯存。適用于純度達到5N5（99.9995wt%）以上的碳化硅單晶生長用等靜壓石墨。
在碳化硅半導體領(lǐng)域，等靜壓石墨是PVT法生長單晶的重要耗材，占據(jù)生產(chǎn)物料成本的約30%，用以制造單晶生長用的熱場部件（包括坩堝及內(nèi)部構(gòu)件、電阻加熱器等）；同時，等靜壓石墨的使用表現(xiàn)，也極大的影響晶體質(zhì)量，質(zhì)量良好的等靜壓石墨熱場能提升晶體生長良率。由于工況中有極高的運行溫度、復雜的腐蝕情況、嚴苛的潔凈度要求，因此，用戶對該領(lǐng)域用的等靜壓石墨具有更加高的使用要求和質(zhì)量標準，這體現(xiàn)在純度、強度、抗腐蝕性、均勻性等多個方面。當前，我國石墨產(chǎn)業(yè)發(fā)展蓬勃，但存在“高端產(chǎn)能不足、中低端產(chǎn)能過剩”的問題。希望以此標準的制定，銜接產(chǎn)業(yè)鏈上中下游，共同探討產(chǎn)品需求的更多共識，促進我國石墨產(chǎn)業(yè)的轉(zhuǎn)型升級、提質(zhì)增效、創(chuàng)新發(fā)展。
秘書處將向CASAS正式成員發(fā)出征集起草單位的通知，組建標準起草小組，請CASAS正式成員關(guān)注秘書處郵件（casas@casa-china.cn）。
牽頭單位介紹
賽邁科先進材料股份有限公司成立于2007年，是中國領(lǐng)先的大規(guī)模、高品質(zhì)特種石墨材料研發(fā)生產(chǎn)的高科技企業(yè)，公司現(xiàn)有兩大生產(chǎn)基地，分別位于浙江湖州和寧夏銀川，總占地面積約1000畝。公司具備綠色環(huán)保的先進生產(chǎn)工藝，其石墨材料和碳材料產(chǎn)品廣泛應用于清潔能源、可再生能源、半導體、工業(yè)爐、精密模具等行業(yè)領(lǐng)域，公司提供基千石墨和碳材料的增值服務(wù)和產(chǎn)品，包括精密加工、材料純化、表面處理、檢驗檢測等。
公司始終把自主科研創(chuàng)新能力作為企業(yè)核心競爭力，是國家級高新技術(shù)企業(yè)、國家專精特新“小巨人”企業(yè)，公司的實驗室已取得國家認可委(CNAS)認證，具備對公眾和社會服務(wù)能力，同時也是中國石墨行業(yè)唯一加入美國材料與試驗協(xié)會(ASTM)，成為組織成員單位的企業(yè)；至2023年為止，公司已參與編制國家標準、行業(yè)標準、ASTM標準等共計19項；公司已與中國工程院、中國科學院著名院士共同建立院士專家工作站，并建立了國家級博士后工作站、省級重點企業(yè)研究院等創(chuàng)新平臺；公司與全球范圍領(lǐng)先的研究機構(gòu)和高校開展合作，包括中科院、清華大學、牛津大學等，為全球各行業(yè)用戶提供更有創(chuàng)新性的產(chǎn)品和服務(wù)。
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）
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