中國粉體網訊 2月23日，江蘇南通市自然資源和規劃局發布，南通三責精密陶瓷有限公司半導體設備用高精度結構陶瓷產業化項目建設工程規劃許可證批后公布。
南通三責精密陶瓷有限公司成立于2017年，研發和管理總部位于上海。公司主攻五大市場應用：精細化工耐腐蝕換熱/反應部件，顯示玻璃制造用精密陶瓷部件，泛半導體用高精度碳化硅部件、新能源鋰離子電池正級材料設備用陶瓷部件以及軍工碳化硅陶瓷產品。
公司不斷的加大研發投入，對半導體用高純碳化硅材料進行了布局，同時開發了3D打印、注射成型、凝膠注模成型、高壓注漿成型等各種先進成型工藝，并逐步拓展到反應燒結、液相燒結、重結晶燒結碳化硅材料的制備研究，成為碳化硅陶瓷行業隱形冠軍。
此前，該公司的先進半導體設備用高純高精碳化硅陶瓷關鍵部件的研發及產業化項目被列入“2023年南通市重大科技成果轉化計劃項目擬立項項目名單”。
SiC陶瓷材料往往表現出優異的高溫強度、耐腐蝕、高硬度和導熱性能，成為應用最廣泛的結構陶瓷材料之一。在半導體領域，碳化硅材料零部件具備密度高、熱傳導率高、彎曲強度大、彈性模數大等特性，能夠適應晶圓外延、刻蝕等制造環節的強腐蝕性、超高溫的惡劣反應環境，因此廣泛應用于外延生長設備、刻蝕設備、氧化/擴散/退火設備等主要半導體設備。
來源：南通市自然資源和規劃局、南通市新材料產業商會
（中國粉體網編輯整理/空青）
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