中國粉體網訊 雜質元素對高純石英產品的質量影響很大,堿金屬、過渡金屬、Al及B等元素含量是高純石英原料的關鍵指標。雜質元素的含量要求根據制備的石英玻璃用途不同而不同,但總的趨勢是越低越好。
光伏用高純石英砂各雜質元素含量要求(單位:微克每克)
堿金屬元素
石英砂中的堿金屬元素主要包括鋰(Li)、鈉(Na)、鉀(K)元素。這些元素在石英中易擴散,化學性活潑,比較容易去除,但是它們危害很大,這些元素在高溫下起著助熔劑的作用,使高溫玻璃出現失透,高溫變形等不良現象,對析晶起著催化作用,影響石英制品的熱穩定性,還會影響石英玻璃的光學特性與熱學特性,降低半導體壽命,石英玻璃的介電系數和介電損失都會增大,而石英制品光的傳播速度和機械強度又都會降低。
降低堿金屬元素的含量有利于提高高純石英坩堝的軟化點,增強石英坩堝的抗變形性,提高單晶的成品率。IOTA標準砂要求堿金屬元素總和2.4×10-6,用于工藝管、硅片處理、石英塊、提單晶硅用的半導體坩堝所需高純石英要求其總和1.4×10-6,CZ型坩堝要求其總和0.5×10-6,而用于12英寸或更大尺寸硅片所需超高純石英砂要求其總和0.08×10-6。
過渡金屬元素
石英砂中摻雜的過渡金屬元素主要有鐵(Fe)、鋅(Zn)、銅(Cu)、鉻(Cr)、錳(Mn)、鎳(Ni)等元素,這些元素對石英制品的影響很大,微量的元素溶入硅熔體就能阻止導電性,對儀器的預見性和可靠性都起著負面作用,對石英制品客觀的影響就是產生色斑,或者引起高溫變色,降低光透過率。
在光纖應用中,會引起微觀不均勻、增加光纖損耗,甚至導致信號失真,但在半導體應用中,產品中微小含量的過渡金屬元素可以促進結晶生長。
硼鋁元素
硼元素(B)在石英砂中的含量與石英礦的地質有直接的關系,B離子可以進入硅酸鹽分子的骨架,產生很強的化學鍵,而不是僅在含硼礦物中。B元素的超標對單晶硅的拉制有致命的影響,1x10-6的B就可以使單晶硅的電阻大幅度降低。高純石英坩堝對B要求高,要求B元素含量<0.04×10-6。
鋁元素(Al)在石英砂中主要存在于長石、粘土及云母等雜質礦物中。是石英砂中含量最多的雜質元素,Al可以進入Si-O四面體結構骨架中,將硅取代,形成Al-O結構,Al3+取代Si4+后,為了平衡電荷,選用堿金屬元素甚至過渡金屬元素來補償電荷。而進入Si-O骨架的Al將不易除去。Al對半導體的影響不大,但是對于電光源用的石英玻璃有很大影響,由于AI在一定條件下可以使石英制品有色,對光譜通過率有影響,進而影響光效。IOTA標準砂要求Al元素含量(12~18)×10-6。
非金屬元素
石英砂中的非金屬元素主要由氧(O)、氫(H)、氮(N)等元素。氧的主體是SiO2,其他則以H2O、N2、O2的形式存在。SiO2中的Si-O鍵斷裂會產生缺陷,這些缺陷會與OH或者H結合形成SiH或者SiOH基團,羥基是一種雜質缺陷,同時又是一種網絡結構缺陷。
羥基對石英及石英玻璃的性能都有很大影響,首先,羥基的存在降低了石英的化學穩定性。其次,羥基使石英結構的疏松度增加,密度減小,結合力下降,聲音在石英玻璃中的傳播速度也將減小。羥基還能降低石英的粘度,低溫時羥基的存在會使粘度降低得更明顯。此外,羥基還影響電子產品的純度,降低石英的軟化溫度,促進析出晶體,降低石英的折射率,影響石英玻璃的光學均勻性。
參考資料
張海啟等:高純石英中雜質特征及深度化學提純技術研究進展,中國地質科學院鄭州礦產綜合利用研究所
徐雯雯:高純石英粉制備工藝研究,中國海洋大學
(中國粉體網編輯整理/平安)
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